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杨建忠 《电子工业专用设备》1989,(4):38-42
本文概述了美国TENCOR仪器公司近年来推出的Surfscan系列片子表面质量检查仪器,及其适用范围和主要技术特点。 相似文献
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杨建忠 《电子工业专用设备》1989,(2):36-39
本文将详细地介绍一种新近研制,并主要用于φ50、φ75、φ100毫米三种规格的硅抛光片外观质量检查的WJY—101型抛光片表面质量检查仪及其主要技术性能、设计原理和结构特点。 相似文献
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祝福生 《电子工业专用设备》2000,29(4):42-45
介绍了一种高精密密珠主轴系统的结构以及密珠轴承的工作原理。重点讨论密珠主轴系统在偏心度检查仪中的设计和整个主轴系统的装调及检验方法。 相似文献
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本文利用数字化仪和微机采集处理激光千分尺平行度检测仪输出的干涉环信息,测定干涉环圆心位置,显示与打印输出平行度检查结果。数据采集是用定位指针指示干涉图上的数据采集点,与此同时,鼠标器叉丝确定了数字化仪上对应的一点,这点的位置坐标输入微机,按平物度检查工作程序完成数据采集处理,输出平行度检测结果。本文利用自准仪监测整机的测量情况,结果表明,该义器满足测量仪器的设计及工作要求,平等度检查精确可靠。用本 相似文献