低成本、集成化 促进微电机行业发展

微电机形成专业化的生产体系，在世界上大约经历了半个多世纪。它已从传统电机模式发展成为多学科互相渗透的机电一体化产品。随着基础研究的深化和新工艺、新材料的出现，越来越多的新型微电机被开发出来并逐步进入实用化．从而给微电机带来革命性的变化，使微电机的市场前景十分看好。     

SANYO高转矩12mm齿轮电机

EADmotors提供满足NEMA 4X(IP66)密封规范的感应电机。新电机加入一些保质构造特征，以确保在恶劣环境应用中能可靠操作和长服务寿命。这种Size44电机外壳是由阳极化铝制成，外部涂有干分之三寸厚的油漆，以提供长期抗蚀保护。凸缘安装、     

PCR芯片和生化微分析系统

介绍了PCR微芯片的最新研究进展,给出了不同结构的PCR芯片设计原理以及特点,介绍由PCR芯片为主要单元的集成微全分析系统的相关研究,同时简要介绍了对PCR的仿真模拟等。     

微电极研究 XV.微带电极及阵列微带电极上的扩散

本文讨论了微带电极的计时电流、扩散层与时间的关系;研究了微带阵列电极的扩散层交叠情况及其对计时电流的影响;进而对微带阵列电极上电极间的屏蔽效应进行了研究,屏蔽效应与电解时间、电极间距离及电极宽度有关,用已有的实验结果验证了本文的理论分析.     

求解力电耦合方程的控制弧长法

静电作用下的柔性薄板是微电机械的核心部件,其控制方程是变形控制方程和静电平衡方程构成的一组非线性耦合方程.本文在分别给出求解这两组方程数值方法的基础上,把控制弧长法进行了合理的推广,变直接加载电压为由构型控制的电压加载方式.结果表明这种方法不仅能够克服收敛性难的问题,而且能够得到致动板吸入失稳后的构形.算例还表明用本方法计算的吸入临界值要比用解析模型得到的临界值更接近实验值.     

电磁型微电机定子绕组的研制

本文主要阐述应用微细加工技术研究和开发电磁型微电机定子绕组的制备工艺，重点介绍制备定子绕组所涉及到的各种材料及其用途。采用掩模电镀技术解决了平面工艺难以解决的线圈绕组。本研究结果为双层十七圈三对六组绕组系统。最小线宽为３μｍ，微电机直径为２ｍ，最大工作电流１２０ｍＡ，电阻值在２４－２５Ω之间。输出力矩为１．５μＮＭ，转子转速每分钟可达５００转。     

微马达转子电镀导磁层的研究

本文推荐一种镀液，用于制作电磁型微电机转子坡莫合金导磁层，研究了该镀液的组成和工作条件对镀层成份和内应力的影响，表明该镀液具有可供选用的电流密度范围宽，允许较高Ｆｅ２－浓度和镀层内应力低等优点。     

微电机市场需求殷切价格走势趋稳

全球市场对微电机产品的殷切需求,促使亚洲微电机制造厂商提高生产能力,增大生产数量。剧烈的竞争迫使日本、韩国和中国台湾纷纷将生产移到海外。为了降低生产成本,各个厂家积极向生产自动化投资。在世界微电机市场上,日本仍是主要供应国,并继续保持着全球研究开发中心的地位。当前,研究开发的主要趋势是研制袖珍式、低噪声、大转矩、低功耗、高精度和低成本的产品。今年的产品价格走势预计将趋稳。     

三个微加工可变电容式马达的研究

本文讨论了三种可变电容式电动马达的工作原理、设计和微细加工.它们分别是顶部驱动式、侧向驱动式和调谐侧向驱动式三种.这些微型马达的各自优点与不足之处也一并作了讨论.本文中讨论的这些微型马达都是通过表面微细加工的方式制得的.高掺杂的LPCVD多晶硅用作结构部分,牺牲层采用LPCVD氧化硅,而LPCVD氮化硅用作电绝缘.整个加工过程包括两次多晶硅淀积,两次氧化硅及两次氮化硅淀积等步骤.     

微电机和微动力MEMS

微执行器是微电子机械系统是一个重要的分支，本文了微执行器中的微电机，微发电机和微涡轮发动机。