麦克流量|高精度流量标定装置

应用背景:高品质电磁流量计的制造离不开高精度的流量标定装置。流量标定装置是计量部门和流量计制造企业进行量值传递、溯源与检定测试工作的标准设备。麦克团队研发建造了一套以高位水塔为稳压源,采用静态质量法与标准表法结合,专用于电磁流量计的标定装置。该装置不确定度优于0.05%的一等流体流量装置级别,通过了陕西省计量院鉴定审核。     

RF磁控溅射制备钛酸锶钡BST纳米薄膜

钛酸锶钡(BST)薄膜作为一种高K介质材料在微电子和微机电系统等领域具有广阔的应用前景,人们已对BST薄膜的制备工艺技术和介电性能进行了大量的研究。BST纳米薄膜的制备工艺直接影响和决定着薄膜的介电性能(介电常数、漏电流密度、介电强度等)。对RF磁控反应溅射制备BST纳米薄膜的工艺技术进行了综述。从溅射靶的制备、溅射工艺参数的优化、热处理、薄膜组分的控制,及制备工艺对介电性能的影响等方面,对现有研究成果进行了较全面的总结。