Nikon光刻机激光步进对准系统研究

介绍了Nikon光刻机最常用的对准方式,即激光步进对准(LSA)。从基本的光学系统出发,介绍了LSA在Nikon光刻机中的作用,搜索和增强型全局对准(EGA),详细阐述了LSA的工作原理及其对工艺的影响,最后介绍了LSA对准系统的技术指标和作用。     

千兆以太网中的字节对准

千兆以太网的数据传输采用串行方式，在接收端将进行串并转换，所以数据的字节对准的问题就随之而来。本文提出并设计了一种适合于千兆以太网的字节对准电路，来解决高速数据传输过程中的字节对准问题。     

自对准双扩散MOS器件的阈值电压分析

文章提出了精确描述自对准双扩散MOS器件阀值电压的解析模型，给出了其沟道中杂质的二维分布和源结耗尽层宽度的计算方法；分析了边缘效应对氧化层电容的影响，借助电荷共事模型，建立了反映非均匀沟道中耗尽层电荷变化及其对开启电压影响的阀值电压模型；同时，借助二维仿真器，计算出自对准双扩散MOS器件的阈值电压，其值与解析值相吻合。     

显微测试技术在矿物学法评价土壤环境质量中的应用

近年来随着我国大面积的农业生态环境地质调查的开展，人们也逐渐认识到了利用矿物学方法评价土壤中重金属元素环境质量的可行性、重要性和必要性，提出了土壤环境质量的矿物学评价方法。主要内容是通过研究土壤中矿物的环境属性和矿物的示踪特性评价土壤环境质量。     

荧光共焦显微术与多光子显微术的差别

共焦显微术和多光子显微术因其可以对厚的生物样品实现光学断层成像，因而在生物医学等领域具有广泛的应用前景，本文详细综述了共焦显微术和多光子显微术在成像原理及特性等方面的差别，在此基础上，讨论了每种显微术各自的优点、局限性及应用前景。     

一种高精度基片预对准机构

主要介绍了一种高精度基片预对准机构的设计思想、机构组成、工作原理和精度分析     

Scanning tunnelling microscope studies of growth of RuO2（110） thin layer on Ru（0001）

This paper reports that the growth of RuO_x(110) thin layer growth on Ru(0001) has been investigated by means of scanning tunnelling microscope (STM). The STM images showed a domain structure with three rotational domains of RuO_x(110) rotated by an angle of 120℃. The as-grown RuO_x(110) thin layer is expanded from the bulk-truncated RuO_x(110) due to the large mismatch between RuO_x(110) and the Ru(0001) substrate. The results also indicate that growth of RuO_x(110) thin layer on the Ru(0001) substrate by oxidation tends first to formation of the Ru-O (oxygen) chains in the [001] direction of RuO_x(110).     

Investigation of recystallization behavior of IF—steel using EBSD technique

The orientation nucleation behavior of γ－fiber of IF-steel was studied using high resolution electron back scattering diffraction (EBSD)technique during annealing.The γ-Fiber nucleation occurs in the deformation bands of γ-fiber and other orientationdeformation bands produce scattering orientation grains.     

磷钨酸乙醇染色法在嗜铬颗粒电镜X射线显微分析中的应用

通过比较常规透射电镜制样法、快速冷冻固定－冷冻超薄切片法及磷钨酸乙醇（EPTA）染色法在嗜铬颗粒透射电镜X射线显微分析中的应用，发现磷钨酸乙醇染色法能使嗜铬颗粒电子着色，从而较好地显示嗜铬颗粒的超微结构。同时磷钨酸乙醇染色法也以在一定程度上原位保留生物样品中元素，可以应用于检测样品元素含量的变化或比较样品元素含量的组间差别，提示磷钨酸乙醇染色法是一种可应用于透射电镜X射线显微分析的经济简便的生物样品制备方法。