电调整微蚀刻

评述了采用电调整微蚀刻试验表明,它适用于各种各样的线宽和间距的精细导线的制造。比起常规喷射蚀刻工艺来,其侧蚀小、蚀刻因子和tanθ高的效果。     

等离子体刻蚀工艺控制模型分析

讨论了主因素分析法以及神经网络法在等离子体刻蚀工艺中的应用.结果表明主元素分析法可以实现对数据的压缩,而神经网络算法则显示出比传统的统计过程控制算法更好的准确性.     

X射线光刻掩模背面刻蚀过程中的形变仿真

开发了理论模型以验证有限元方法用于X射线光刻掩模刻蚀过程数值仿真的正确性。利用相同的有限元技术，对X射线光刻掩模的背面开窗、Si片刻蚀过程进行数值仿真。结果表明，图形区域的最大平面内形变(IPD)出现在上、下边缘处，最大非平面形变(OPD)出现在左、右边缘处。此外对Si片单载荷步刻蚀和多载荷步刻蚀的仿真进行比较，结果表明图形区域最终的形变量与Si片刻蚀的过程无关。     

铁通广西分公司进一步改革分配制度

2004年12月6日，中国铁通广西分公司召开党员领导班子民主生活会。中国铁通集团公司总经理张永平参加了会议。张永平在会上首先肯定了广西分公司领导班子的工作，指出：班子成员在民主生活会上畅所欲言，从企业经营的角度，回顾走过的历程．一年来做了大量工作，要看到问题，找出差距，更好地开展明年的工作。要站在企业的角度、全局工作的角度，思考企业的发展。要按市场规律办事，从市场经济角度办企业。     

Klipsch RB35书架箱

与之前RF7同处一代的RB5等书架箱有所不同，这一代参考系列被分别命名为RB15、RB25和RB35等，明摆着是想要和前一代产品区分开来。RB35在新的RB系列中名列第二，之上还有款源于RF7的RB75。     

日益复杂的现代汽车电子测试

现代汽车正变得日益复杂，从电子的角度来看尤其如此。据汽车工程师协会(SAE，http：／／www．sae．org/）预测，到2010年每台汽车的价格中有40％属于电子部分。测试工程师们将如何满足下一代汽车电子控制系统(ECU)测试复杂性的需要?什么样的测试系统才是合适的?本文将尝试回答这样一些问题，     

真空微电子荧光平板显示器件的实验研究

真空微电子荧光平板显示器件的实验研究刘杰明，李志能，陈秀峰（浙江大学信息与电子工程学系）关键词：真空微电子，反应离子刻蚀一、引言近十年来，随着真空微电子学的崛起，利用微细加工技术，使真空元器件集成化和高性能化已成为可能，一种新型场致发射阵列真空荧光平...     

单片集成电路高台面联线

介绍了ＧａＡｓ ＭＭＩＣ高台面刻蚀制备工艺方法，解决了高低台面联线问题，提高了单片集成电路性能，保证了可靠性。     

通信网间互联费定价方法控讨

互联互通是构建电信有效竞争格局的基础，是电信行业持续发展的重要保证。仅从技术角度考虑，互联互通是一个相对简单的问题。但从经济角度出发，互联互通问题就变得极其复杂。网间互联费的定价，是互联互通谈判中最为复杂、最难以协调的问题。     

ON THE ASYMPTOTIC BEHAVIOUR OF THE STEADY SUPERSONIC FLOWS AT INFINITY

This paper studies the asymptotic behaviour of steady supersonic flow past a piece-wise smooth corner or bend. Under the hypothese that both vertex angle and the total variation of tangent along the boundary are small, it is shown that the solution can be obtained by a modified Glimm scheme, and that the asymptotic behaviour of the solution is determined by the velocity of incoming flow and the limit of the tangent of the boundary at infinity.