CXS系列旋转冲洗甩干机介绍

ＣＸＳ系列旋转冲洗甩干机是由信息产业部电子第四十五研究所根据国内半导体产业的发展和市场需求 ,于 2 0 0 0年研究开发的旋转冲洗甩干设备。该系列机型具有高洁净度旋转冲洗甩干功能。主要用于硅圆片、掩模板、太阳能电池等类似材料的冲洗甩干。是半导体湿法清洗工艺中必不可少的主要设备之一。1　ＣＸＳ系列机型ＣＸＳ系列机型针对不同用户、不同工艺需求、不同应用场合开发了系列化机型。用户可按自己的要求和不同工艺选择适合自己的机型型号和功能配置要求。其中 ,ＣＸＳ— 2 15 0ＯＡ型为双工作腔结构 ,最大加工片子直径15 0ｍｍ。…     

新产品

芯片分类机；涡轮泵；晶圆键合平台；掩膜对准工具组；变异意识建模工具；直接空气冷却过滤器；     

Cooperative Effect Radiation Loss of Optical Pump Solid Laser

1 Introduction For increasing the output energy of laser, the pumping power must be enhanced. But the cooperative effect will arise and cause spontaneous radiation light in laser medium sample when the pumping power is high e- nough without the resonator. The spontaneous radiation light is coherent light between laser and fluorescent. It will compete the upper energy level population with ex- cited radiation, and the loss increase. In solid laser medium, such as Nd∶YAG, the Nd ion densityi…     

LD Pump Single-Longitudinal-Mode Nd：GdVO4/RTP Solid-State Green Laser

The single-longitudinal-mode Nd：GdVO4/RTiOPO4 （RTP） solid-state Green laser operation of a laser-diode （LD） end-pumped laser is realized by multi-cavities and a Brewster plate. The LD-pumped single-frequency green laser has been demonstrated by optimizing several parameters and a cavity length, with precise temperature controlling of Nd：GdV04, RTP and laser diode. When the incident pump power is 2 W at 808.4 nm, a single-frequency cw green laser at 532nm with output 210 m W is obtained, the optical-to-optical conversion efficiency is up to 10.5%.     

涂胶设备背面冲洗功能的开发与研制

本文根据涂胶设备在加工制品过程中所遇到的制品背面沾污问题，提出改进措施，并根据设备的具体情况，增加了涂胶设备的背面冲洗功能。使制品在涂胶过程中，及时地对制品背面进行冲洗，从而保证了制品背面的洁净度，对提高产品质量和提高产品的成品率有非常重要的意义，同时对开发一些技术要求较高的新品也有深远的影响。     

受激喇曼散射在掺铒光纤放大器中的影响

本文在分析了均匀掺杂分布式光纤放大器（d－EDFA）的基础上，提出了沿传输方向掺杂浓度单调下降（单变），和降升结合（两变）的两种渐变型分布式光纤放大器，并用传输方程研究了透明传输和最佳掺杂浓度下，受激喇曼散射对均匀、单变和两变型三种d－EDFA的各种特性的影响．     

锥形阀压电薄膜泵的初步研究

提出一种适应高频工作状态的压电薄膜泵结构，实步分析了所采用的锥形阀的工作原理与作用，设计了试验泵结构，加工了样机，通过试验证明了锥形阀的有效性，为进一步的研究打下了基础。     

Construction of the HL-2A Tokamak

HL-2A is the first tokamak with divertor in China. The objectives of HL-2A are to produce more adaptable divertor configurations to study energy exhaust and impurity control, and to study enhanced core plasma confinement by profile control and moderate plasma shaping. HL-2A has well optimized operational flexibility and excellent accessi-bility for the diagnostic systems to facilitate various plasma experiments.     

横向光泵获得S_2紫外激光

用ＸｅＣｌ准分于激光器（３０８．１ｎｍ）横向泵浦Ｓ２激光器，又成功地实现了Ｓ２Ｂ－Ｘ态近ＵＶ波段的激光振荡。在波长３３０．９～３９０．０ｎｍ范围内观测到６条近ＵＶ激光输出。测量了有关的激光参数。