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CMP加工过程中均匀去除率的研究 总被引:2,自引:1,他引:1
种宝春 《电子工业专用设备》2007,36(1):58-61
半导体制造技术已经达到了亚微米技术水平,CMP(chemical mechanical planarization)化学机械抛光是IC制造工艺中进行全局平坦化唯一的途径,分析了针对大直径晶圆进行全局平坦化,达到面型精度和表面完整性的要求而采取的区域压力控制技术。 相似文献
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为了实现三维光信息存储的实用化, 在三维光盘存储实验系统的基础上, 改进、设计出了一种可用于三维数据存储的单侧读写光学头。对光学头进行了光学和控制系统的设计, 利用专门设计的耦合分光棱镜进行光束耦合和分离; 采用双音圈电机控制透镜的方式实现数据的选层; 进行了聚焦伺服系统的建模和仿真。结果表明双光束焦点同步误差保持在±3μm之内。 相似文献
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因光纤与光头接触不好,使入纤功率下降,导致判别电路误判,模块不参与循环工作,不输出电压,造成合成波形歧变,解调器不能平滑合成波形,产生特殊的噪声。 相似文献
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PC厂商如今都已在PC之外寻找可以支撑公司生存的方法了,清华紫光却逆市跳进这个领域,莫非它有什么绝密武器。 相似文献
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为了实现三维光信息存储的实用化,在三维光盘存储实验系统的基础上,改进、设计出了一种可用于三维数据存储的单侧读写光学头。对光学头进行了光学和控制系统的设计,利用专门设计的耦合分光棱镜进行光束耦合和分离;采用双音圈电机控制透镜的方式实现数据的选层;进行了聚焦伺服系统的建模和仿真。结果表明双光束焦点同步误差保持在±3μm之内。 相似文献
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怎样把冰卖给爱斯基摩人?怎样把梳子卖给光头的人?怎样把鞋卖给光脚的人?老实说,我不知道上面三个营销课本上经常出现的问题的答案。但现在,我们却在做一件自己以前都怀疑的事情:专为女性制作一份数字化生活的读物——《iLady》。 相似文献
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久违了的冬日普照大地,久别故乡的葛优回家来了。
“哎呀,家乡的变化太大了,10年前一眼望出去都是草房、土墙,如今都换成楼房了。中国移动的手机信号很好,都是满格。”2008年1月9日,踏上重庆市江津区先锋镇黄桷村仙鹤桥的土地,葛优全然没有大明星的架子,先是贪婪地深吸了几口气,然后大发感叹。这里是他母亲施文心的老家,用葛优的话来说:“我的根在这里,一定要来看看。” 相似文献