微流控分析芯片制作中的低温键合技术

微流控分析芯片制作方法的研究是微流控分析的基础。制作性能良好的微流控分析芯片时,基片与盖片的键合技术十分重要。本文针对近年来发展迅速的低温键合技术,对各种方法进行了评价,并对其发展前景进行了展望。     

具有RHEED在线监控功能的超高真空CVD系统及3″硅片低温外延研究

本文报道了自己研制的一台超高真空化学汽相溶积系统，本底真空达１０＾－７Ｐａ。该系统配有反射高能电子衍射仪，可对衬底表面清洁状况、外延层厚度等进行在线监控。     

脉冲管制冷机机理研究新进展

脉冲管制冷机是近年来空间微型机械式制冷机研究的前沿课题，作者通过精确的实验测量和分析，首次发现了双向进气型脉中管制冷机存在直流分量，该直流分量是脉冲管制冷机的一种损失，并指出多种旁能流程可以减小直汉损失，提高脉冲和制冷机的制冷性能。     

2.048 Mbit/S支路信号复用映射进入STM-1帧的过程

同步复用和映射方法是SDH最具特色的内容之一，2．048Mbit／s支路信号复用映射进入STM－1帧是欧洲体制的SDH（如我国所采用的体制）最基本的工作过程。本文系统分析2．048Mbit／s支路信号复用映射进入STM－1帧的过程。     

红外遥感用低温制冷器的进展

低温制冷器与红外探测器配套，是军事现代化、高新技术等急需发展的关键产品。国内研制技术也已接近国际先进水平，基本掌握了小型化、低振动、长寿命、细方形漆包线制作、间隙密封、消除电磁干扰等相关关键技术。本文列出了已研制过的直线电机谐振压缩机的主要技术性能。希望主管、用户、研制、生产各方通力合作，应用－改进－再应用－再改进，实现我国低温制冷器的产业化。     

低温低噪声红外前置放大器的计算机辅助设计

通过ＰＳＰＩＣＥ５．０的模型参数提以工具ＰＡＲＴＳ软件，提取并确定了低温低频低噪声双极晶体管的器件模型参数，利用ＰＳＰＩＣＥ５．０对低温红外前置放大器进行了计算机辅助设计和优化，成功地对双极模拟电路进行了温度为１２０Ｋ（－１５３℃）的多种模拟分析。采用ＭＣＭ技术制作出了混合集成低温红外前置放大器，实际电路的ＣＡＴ测试结果与计算机辅助设计结果相吻合。