数字波面扩束器

介绍在移相式数字平面干涉仪的基础上建立的高精度数字波面扩速器技术，该技术可扩展干涉仪的测试孔径。文中介绍了数字波面扩束技术的原理，使用计算机模拟实际的测试过程，分析原理误差对波面复原精度的影响，此技术用在φ250mm口径的移相式数字平面干涉仪上，扩束口径达φ500mm。