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用于材料表面改性的多功能等离子体浸没离子注入装置 总被引:5,自引:0,他引:5
详细叙述了新近研制的多功能等离子体浸没离子注入(PⅢ)装置,在装置设计中,考虑了等离子体产生手段、高压脉冲电源和真空抽气系统多项功能要求,把离子注入、涂敷和溅射沉积结合起来,该已实现了多种气体等离子体注入、气-固离子混合与注入、金属等离子体沉积与注入、离子束混合与离子束增强沉积等,以满足不同材料制成的不同零件对多种表面处理工艺的需要,初步应用结果证明,该装置对于改进45号钢、Ti-6Al0-4V和 相似文献
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本文主要讨论分块摹矩阵(主要是含零子块较多的倩形)乘法运算的性质,分析了分块摹矩阵与赋嘉量有向图的关系,指出了嘉量原理如何用分块摹矩阵连乘积描述. 相似文献
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