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影响靶材刻蚀特性的主要因素来自平行靶面的磁场分布,为了得到更优的磁控靶结构参数以实现靶面水平磁感应强度的均匀分布,本文利用Comsol软件对双环磁控溅射靶的靶面水平磁感应强度分布进行模拟分析,得出了当内磁环高度h=10 mm,外磁环与靶材间距d=7 mm时的靶面水平磁感应强度分布较为理想.除此之外,还探讨了加装导磁片对靶面水平磁感应强度的影响,结果表明采用适当的导磁片长度、厚度以及导磁片与磁环之间的间距,对靶材的水平磁场强度分布具有调节作用.在工程应用中,技术人员可以事先对靶材结构进行模拟优化以节省生产周期和成本,对实际生产具有指导意义. 相似文献
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随着我国石油开发的不断深入,大部分油田已经进入了高含水开发期;电位法压裂裂缝监测通过套管向井中供电,地面观测电位分布,监测压裂裂缝形态。该方法简单易行,是一种重要的裂缝监测方法;因此开展相关电位法压裂裂缝监测的正演以及反演研究具有十分重要的意义;首先,文章基于有限单元法,利用comsol软件建立了电位法压裂裂缝监测模型,进行了数学分析,并选取了合适的边界条件;其次,通过建立的模型,研究了裂缝方位与地面电位的对应关系;然后,通过改变测量区域的坡度,研究了坡度对地面测量电位的影响;研究表明,裂缝的方位与异常电位值的极小值相对应;地表坡度将对裂缝方位的监测造成影响;因而,在实际的电位法压裂裂缝监测中,应考虑坡度的影响,并对测量电位进行相应地修正补偿以消除误差。 相似文献
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