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本实验利用扫描电子声显微镜对CaAs半导体外延片生长缺陷进行了电子声成像。通过分析不同条件下获得的电声图像,讨论了CaAs半导体外延片在电声成像中其电声信号的产生机制。实验结果显示这种成像技术在半导体材料微观分析与评价中具有巨大的应用前景。 相似文献
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QIAN Menglu 《声学学报:英文版》1995,(2)
I.IntroductionNondestructiveeva1uationofstressdistributioninmaterialandmovingor1oadedcompo-nentsisveryimportantinmaterialscienccandengineering.Theultrasonictechnique['l,Ramanspectroscope['l,X-ray['landneutrondiffrac1iontcchnique[4]areusua1lyusedtodetectthestressdistributioninanopaquesample.RecentlytheScanningE1ectronAcousticMicroscopy(SEAM)[s]andphotoacoustictcchniquc[6]havebccnrcportedasncwtechniquetodeterminetheresidualstressdistribution.Itisshownthatthethermalwavealsocanbeusedtomcasure… 相似文献
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