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物理学
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1987年
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1.
激光诱导直接化学光刻
李丁
顾原岗
沈光平
邱明新
《光学学报》
1987,(1)
本文利用Ar~+激光倍频257.3nm进行扫描蚀刻Si、GaAs和Zn片,获得的最小光刻线宽为1.2μm,给出蚀刻深度与光强/扫描速度的关系曲线等参量,首次利用光刻技术估计卤素自由基的扩散系数、自由路程以及激光聚焦光斑大小,以及观察到阈值现象。
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