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1.
二氧化钒薄膜的低温制备及其性能研究   总被引:12,自引:0,他引:12       下载免费PDF全文
针对VO2薄膜在微测辐射热计上的应用,采用射频反应溅射法,在室温下制备氧化钒薄膜;研究了氧分压对薄膜沉积速率、电学性质及成分的影响.通过调节氧分压,先获得成分接近VO2的非晶化薄膜,再在400℃空气中氧化退火,便可制得高电阻温度系数,低电阻率的VO2薄膜,电阻温度系数约为-4%/℃,薄膜方块电阻为R为100—300kΩ;薄膜在室温下沉积,400℃下退火的制备方法与微机电加工(micro electromechanic 关键词: 二氧化钒 电阻温度系数 氧分压 射频反应溅射法  相似文献   
2.
王飞鹏  夏钟福  邱勋林  沈军 《物理学报》2006,55(7):3705-3710
根据栅控恒压电晕充电组合反极性电晕补偿充电法的实验结果计算出铁电驻极体的极化强度.结果说明,伴随着薄膜内孔洞气体的Paschen击穿,该铁电体的极化强度随栅压增加而显著上升.利用上述充电方法和热刺激放电(TSD)谱的分析讨论了这类空间电荷型宏观电偶极子,及与其补偿的空间电荷热退极化的电荷动态特性;阐明了这两类俘获电荷的能阱分布,即构成宏观电偶极子的位于孔洞上下介质层内的等值异号空间电荷分别被俘获在深、浅两种能值陷阱内,而位于薄膜表面层的注入空间电荷则被俘获在中等能值陷阱中. 关键词: 反极性电晕补偿充电法 铁电驻极体 充电电流 热刺激放电  相似文献   
3.
脉冲放电等离子体烟气治理技术具有流程简单,一次投资成本低,无二次污染,可同时脱硫脱硝,形成的副产物可回收利用等特点。  相似文献   
4.
研制成功的6MeV高能工业CT集成检测系统采用磁控管驱动的6MeV射频加速器作为X射线源,成像系统与9MeV高能工业CT相同,扫描方式采用三维锥束扫描。主要技术指标与9MeV工业CT系统接近,其空间分辨率也达到21p/mm(10%的调制度下)。  相似文献   
5.
基于MAX2740射频接收前端提供了从天线到数字化输入之间完备的GPS接收方案,信号通道包括了低噪声放大器(LNA)、两级下变频器、可变增益/固定增益放大器、压控振荡器(VCO)及频率合成器等。  相似文献   
6.
遥测传输技术是通信领域的一个分支,正在向高码速率、多功能方向发展,可将软件无线电的概念运用到遥测领域中,采用软件无线电的思想实现接收机的软件化,完成多模式信号的解调。为了降低系统的复杂度和提高系统的精度,要求将数字化的时刻尽量提前。受到器件水平的限制,还无法做到直接射频采样,而只能对中频信号进行采样,并将采样信号存储之后再对其进行处理。文中针对中频数字化后的PCM/FM信号的全软化FM解调展开研究。  相似文献   
7.
建立了一套用于产生瞬变物种的脉冲高压放电分子束装置,以N2气为例,对高压脉冲放电过程和整个荧光采集系统的工作效率进行了研究,从N2气的振动光谱中得到其激发态的振动温度为2257K。  相似文献   
8.
现在国际上大装置纷纷发现破裂放电而导致电流突然中止造成装置遭受重大的危害,因为能量熄灭阶段存在强烈的热通量,而且在电流熄灭阶段中产生强烈的逃逸电子,使得第一壁材料可运行的时间大大缩减;同时在真空器壁上产生很强的电磁力。所以,必须在大装置上建立一种避免和软化能量衰竭与电流衰竭,并且控制预计的放电破裂或突然终止放电的措施。  相似文献   
9.
受《中学物理》(2002年第5期第24页)刘德华"取出鸡蛋的妙法"的启发,本文谈谈我们对物理课本中证明大气压存在的小实验的改进.  相似文献   
10.
 研究了不同衬底-阴极距离、直流电压和H2流量对a-CH薄膜沉积速率的影响。结果表明:衬底-阴极距离必须大于0.5cm,随着该距离的增加,薄膜的沉积速率减少;直流电压达550V时沉积速率最大;随着H2含量的增加,CH4含量相对减少,沉积速率随之降低。用AFM观察了以该方法制得的448.4nm CH薄膜的表面形貌,表面粗糙度约为10nm。最后测出了不同条件下CH薄膜的UV-VIS谱,由此可以计算得到薄膜的禁带宽度及折射率。  相似文献   
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