全文获取类型
收费全文 | 72篇 |
免费 | 14篇 |
国内免费 | 7篇 |
专业分类
化学 | 42篇 |
晶体学 | 1篇 |
物理学 | 50篇 |
出版年
2023年 | 4篇 |
2022年 | 4篇 |
2021年 | 2篇 |
2020年 | 4篇 |
2019年 | 3篇 |
2017年 | 1篇 |
2016年 | 3篇 |
2015年 | 6篇 |
2014年 | 6篇 |
2013年 | 2篇 |
2012年 | 6篇 |
2011年 | 3篇 |
2010年 | 3篇 |
2009年 | 6篇 |
2008年 | 4篇 |
2007年 | 3篇 |
2006年 | 2篇 |
2005年 | 3篇 |
2004年 | 5篇 |
2003年 | 2篇 |
2002年 | 3篇 |
2001年 | 1篇 |
2000年 | 1篇 |
1999年 | 2篇 |
1998年 | 3篇 |
1997年 | 1篇 |
1996年 | 4篇 |
1995年 | 2篇 |
1993年 | 1篇 |
1992年 | 1篇 |
1989年 | 2篇 |
排序方式: 共有93条查询结果,搜索用时 15 毫秒
1.
利用两种不同重均分子量的改性酚醛树脂(PF)与一种三个酯化度的四羟基二苯甲酮-重氮萘醌磺酸酯光敏剂(PAC)按比例配制,加入适量助剂优化感光性能,制备出一种应用于电子触屏加工领域的Ⅰ-line正性光刻胶,其具有刻蚀精度高、工艺性能优良、单位成本较低等优势特点. 相似文献
2.
由于SU-8光刻胶的内应力将会影响高深宽比结构的全金属光栅的制作质量,本文针对近年来SU-8光刻胶应力测量困难的情况,提出了一种基于激光剪切散斑干涉技术的SU-8光刻胶应变分布测量的新方法。该方法通过对被测胶体加载前后两幅干涉图像的处理,直接得到被测胶体结构的全场应变分布情况,由胶体的应变变形数据即可反映出内应力的变化和分布趋势。同时使用ANSYS有限元分析软件对同一被测胶体进行应变仿真模拟研究,获得胶体结构的变形场仿真数据。组建了实验系统,进行了实验验证,结果表明:实际测量变形量约为1.189μm,仿真的最大变形量为1.088μm,测量误差在允许范围内,且测量的形变趋势与仿真模拟结果相一致,表明激光剪切散斑干涉技术可应用于SU-8光刻胶的应变分布全场无损检测。 相似文献
3.
4.
5.
6.
折射型微透镜列阵的光刻热熔法研究 总被引:8,自引:1,他引:7
研究了制作折射型微透镜列阵的一种新方法光刻胶热熔成形法,获得了20×20的折射型微透镜列阵,单元微透镜相对口径为F/2,单元透镜直径为90μm,中心间隔100μm,透镜的波像差小于1.3波长。本文详细阐述了光刻热熔法的基本原理及微透镜设计方法,并讨论了工艺参数对微透镜列阵质量的影响。 相似文献
7.
本文用选择铌膜刻蚀或选择铌膜阳极氧化过程研究了全铌隧道结Nb/AlOxAl/Nb的制备.借助于SEM,利用曝光后烘烤处理研究了高质量光刻胶图形的制备工艺,并分析了其对铌结特性的影响.结面积为7μm2的铌结具有典型的IV曲线,在4.2K时,他们的特性参数Vm~20mV,能隙电压Vg~2.7mV,临界电流密度Jc~3000A/cm2,比电阻ρn~1μΩcm2.这些铌结能够被直接应用于dcSQUID. 相似文献
8.
聚酞亚胺(polyimide简称PI)树脂耐热性,电绝缘性能优良,在机电工业中有着广泛的应用。近年来,它作为微电子工业加工中的辅助材料可用作纯化层及大规模集成电路中的层间绝缘材料,但其需借助其它的粘附材料才得以实现,且工艺复杂。 相似文献
9.
提出了一种用于大规模多晶硅太阳能电池生产的制绒工艺,采用负性光刻胶作为湿法刻蚀的掩膜,制备蜂巢状低反射率绒面.通过研究氢氟酸/硝酸溶液中各向同性刻蚀时腐蚀坑的形成过程,发现随着刻蚀时间的增加,在掩膜图形的开孔下逐渐形成六方分布的球面形状的腐蚀坑,腐蚀坑的深径比(深度/开孔直径)出现先上升然后下降的趋势.同理论计算值对比发现,随着刻蚀时间增加,掩膜和硅片的附着紧密性及掩膜的阻挡效应降低,酸液可能渗入了掩膜和硅片的界面,横向刻蚀速度快速上升,降低了深径比,导致实际的反射率高于理论计算值.尽管如此,本文还是成功制备了孔径15微米的蜂巢状绒面,反射率达到了22.9;. 相似文献
10.
合成了稀土配合物Eu(TTFA)3(TTFA, 2-thenoyltrifluoroacetone)掺杂的环氧基紫外负性光刻胶薄膜,采用荧光分光光度计对其光致发光特性进行了系统表征.荧光光谱分析表明,Eu(TTFA)3掺杂的光刻胶薄膜具有很宽的激发谱带(200~400 nm),且在长波紫外区表现为强激发,说明有机配体TTFA-与中心离子之间存在着比电荷迁移带更有效的能量传递.配体TTFA-的三重激发态和Eu3+的激发态能级匹配较好,能很好地敏化Eu3+而发出明亮的红光,是获得Eu3+红色荧光发射的优良配体,认证了有机配体与稀土离子之间产生有效能量传递的前提是存在"天线效应". 相似文献