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1.
2.
铝互连线的电迁移问题历来是微电子产业的研究热点,其面临的电迁移可靠性挑战也是芯片制造业最持久和最重要的挑战之一.从20世纪90年代开始,超深亚微米(特征尺寸≤0.18 μm)铝互连技术面临了更加复杂的电迁移可靠性问题.从电迁移理论出发,分析概括了铝互连电迁移问题的研究方法,总结了上世纪至今关于铝互连电迁移问题的主要经验;最后结合已知的结论和目前芯片制造业现状,分析了当前超深亚微米铝互连线电迁移可靠性挑战的原因和表现形式,提出了解决这些问题的总方向.
关键词:
电迁移
铝互连
微结构 相似文献
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李治明 《新疆大学学报(理工版)》2004,21(2):135-141,146
研究了具有开发的单种群非自治周期系统.利用非自治微分方程理论.以及变分法理论和泛函极值的Euler方程方法,得到了该开发系统的持续生存性.周期解存在性,全局渐近稳定性.研究了在开发情况下的最大收获量问题,以及取得最大经济效益下的收获问题等. 相似文献
6.
We have measured lifetimes of △n=0 allowed transitions in beryllium-like sulfur using beam foil spectroscopic techniques. The measured values, derived from analysis of arbitrarily normalized decay curves, are presented and compared with theoretical calculations and previous measurements. Accurate probabilities have been determined by the well-known relationship. 相似文献
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8.
时滞种群模型的正周期解对所有正解的吸引性 总被引:5,自引:0,他引:5
李永昆 《高校应用数学学报(A辑)》1997,(3)
建立了对数种群模型N′(t)=N(t){r(t)-a1(t)ln[N(t)]-a2(t)ln[N(t-τ(t))]}的周期正解的存在性,并得到了正周期解对所有正解的吸引性. 相似文献
9.
应用七级目测法对浙江中部地区27个夏熟作物田样点的杂草进行了优势等级调查,将所得数据转换成重要值,以杂草在27个样点中的重要值为运算指标,应用主成分分析法和图论聚类中的最小生成树法,对24种杂草的生态学相似性进行了比较,指出了长期使用单一的除草剂导致农田杂草种群迅速更迭的原因:杂草对除草剂的敏感性差异及不同杂草间的生态学特性的差异。 相似文献
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以“图形”为背景的数列综合题,是典型的具有时代气息的信息迁移题,备受各级各类考试命题者的青睐,频频出现在各级各类考试卷中,常处于“压轴题”的地位,充当“把关题”的重要角色. 这类问题极富思考性、挑战性和趣味性,学生求解起来颇感困难,考试时经常弃而不管,令人惋惜! 下面采撷五道典型例题予以导析,旨在探索题型规律,揭示解题方法.一、以“装置图”为背景的数列综合题例 1 (郑州市高考模拟题 )如图 1所示是一个计算装置示意图,J1、J2 是数据入口,C是计算结果的出口. 计算过程是由J1、J2 分别输入自然数m和n,经过计算后得自然数… 相似文献