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1.
建立以二极管泵浦的Nd:YAG连续固体激光器为基础的微结构加工平台。激光器谐振腔输出基横模,输出波长1064nm,采用调Q技术压缩脉宽,激光器输出峰值功率大于10w,可选择连续及脉冲工作方式。 相似文献
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4.
采用约束刻蚀剂层技术, 以亚硝酸钠为先驱物, 通过电化学氧化产生刻蚀剂(硝酸)刻蚀铝, 并以NaOH为捕捉剂, 在电极模板上形成约束刻蚀剂层. 在金属铝表面加工出梯型槽微结构, 加工分辨率约为500 nm. 通过测量表面氢离子浓度, 对捕捉剂的约束效果进行了分析. 相似文献
5.
注塑型聚甲基丙烯酸甲酯多通道微流控芯片的研制及其性能考察 总被引:4,自引:0,他引:4
微流控芯片技术因具有微量、快速、高效和高通量等特点,已成为分析化学领域中的研究热点之一.在微流控芯片中,最常见的可用作芯片的材料为玻璃、石英和各种塑料.玻璃和石英有很好的电渗性和光学性质,可采用标准的刻蚀工艺加工和用化学方法进行表面改性,但加工成本较高,封接难度较大. 相似文献
6.
当前的微型低能耗电子设备以及微机电系统(MEMS)器件大都使用传统的体积较大的外接电源供能,这就限制了这些微型器件的发展和应用.通过设计集成微型电源并将其与这些微器件一体化,可构筑自主微器件系统.本文主要综述了本课题组开展的与微电子技术兼容的全固态微型锂离子电池的研究,包括LiCoO2正极薄膜材料、固态电解质-电极Li... 相似文献
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8.
高分子纳米复合是深入理解高分子链结构和宏观性能的关键,直接影响着复合材料向尺寸微小化、控制精细化、复合功能化和系统集成化方向发展的进程,涉及了高分子复合材料微加工中的诸多问题,其中多组分多尺度空间分布和形态精细控制的物理与化学是两个关键科学问题。自2000年起,我们围绕这两个关键问题展开系列研究,主要面向复杂性复合颗粒... 相似文献
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10.
利用飞秒激光微加工技术,可以在光纤纤芯内直写出布拉格光栅,它与传统的光纤光栅制作方法相比,具有耗时短、无需光敏光纤、周期可任意设定、光栅稳定性高等优点。采用800 nm钛宝石飞秒激光器,在Hi1060光纤内写入一支8 mm长的布拉格光栅,光纤光栅的周期为2.9 μm,这是中心波长为1 042 nm的八阶光纤布拉格光栅。将所得光栅与一段有源的双包层光纤熔接,作为激光输出镜,利用975 nm的LD光纤模块作为泵浦源,采用端泵浦技术构成双包层光纤激光器。双包层光纤采用Nufern公司镱(Yb3+)离子掺杂双包层光纤,光纤长度3 m。所得激光器的输出功率为71.1 W,中心波长1 042 nm,带宽约为0.8 nm。 相似文献