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2.
铝互连线的电迁移问题历来是微电子产业的研究热点,其面临的电迁移可靠性挑战也是芯片制造业最持久和最重要的挑战之一.从20世纪90年代开始,超深亚微米(特征尺寸≤0.18 μm)铝互连技术面临了更加复杂的电迁移可靠性问题.从电迁移理论出发,分析概括了铝互连电迁移问题的研究方法,总结了上世纪至今关于铝互连电迁移问题的主要经验;最后结合已知的结论和目前芯片制造业现状,分析了当前超深亚微米铝互连线电迁移可靠性挑战的原因和表现形式,提出了解决这些问题的总方向.
关键词:
电迁移
铝互连
微结构 相似文献
3.
We have measured lifetimes of △n=0 allowed transitions in beryllium-like sulfur using beam foil spectroscopic techniques. The measured values, derived from analysis of arbitrarily normalized decay curves, are presented and compared with theoretical calculations and previous measurements. Accurate probabilities have been determined by the well-known relationship. 相似文献
4.
利用固定化微生物技术强化降解TATB工业废水 总被引:1,自引:0,他引:1
综述九十年代以来固定化微生物技术用于难降解有机废水治理中的最新研究进展,提出了利用该技术强化降解TATB工业废水的新途径。 相似文献
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以“图形”为背景的数列综合题,是典型的具有时代气息的信息迁移题,备受各级各类考试命题者的青睐,频频出现在各级各类考试卷中,常处于“压轴题”的地位,充当“把关题”的重要角色. 这类问题极富思考性、挑战性和趣味性,学生求解起来颇感困难,考试时经常弃而不管,令人惋惜! 下面采撷五道典型例题予以导析,旨在探索题型规律,揭示解题方法.一、以“装置图”为背景的数列综合题例 1 (郑州市高考模拟题 )如图 1所示是一个计算装置示意图,J1、J2 是数据入口,C是计算结果的出口. 计算过程是由J1、J2 分别输入自然数m和n,经过计算后得自然数… 相似文献
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三角帆蚌(Hyriopsis cumingii Lea)对水体Cr,Pb,Cd污染有明显的净化能力,持续处理12d,能使水体Cr,Pb,Cd含量分别下降83%,77.6%和72%。蚌体的斧足、鳃、外磁膜、体表粘液、肝脏、肠道和生殖腺等组织对3种污染物的吸收和富集作用不尽相同,其中分别以体表粘液、鳃和肝脏最为显著。3种污染物进入蚌体的速度很快,其组织吸收量一般在第3天即可达到较高水平。进入蚌体的污染物,可在组织转移和重新分布。研究结果为生物治理Cr,Pb,Cd等重金属污染积累了资料。 相似文献
8.
在LP(1 P<∞)空间研究了板模型中一类带广义边界条件具各向异性、连续能量、均匀介质迁移算子的谱,证明了该迁移算子生成C0半群的D yson—Ph illips展开式的二阶余项在LP(1
相似文献
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