应用于22nm及以下节点的极紫外光刻胶研究进展

极紫外光刻(EUVL)是最有希望用于22 nm及以下节点的下一代光刻技术,光刻胶的性能与工艺是其关键技术之一。EUV光刻胶应同时满足高分辨率、低线边缘粗糙度和高灵敏度的要求。回顾了应用于22 nm及以下技术节点的EUV光刻胶的发展现状和面临的挑战,介绍了EUVL对光刻胶的基本要求以及分辨率、线边缘粗糙度(LER)和灵敏度之间的平衡关系,阐述了LER的形成机理尤其是LER的降低,从产酸剂、吸收增强、分子尺寸的缩小、酸扩增、酸的各向异性扩散等材料设计方面总结了可能的光刻胶性能改进方案,探讨了EUV光刻胶未来的主要研究方向。     

论离婚损害赔偿

离婚损害赔偿的性质是侵权责任。赔偿的义务方涉及到第三人共同侵权的,可以让第三人作为无独立请求权人参与诉讼。离婚损害赔偿应该是在财产分割以后进行。婚姻法有关财产约定制度的规定是不符合法理的。     

复折射率介质一维光子晶体的透射特性

设计一种缺陷层为复折射率介质的一维光子晶体,并利用量子传输矩阵计算光波的透射率.结果表明:缺陷层为复折射率介质结构的光子晶体,其缺陷模个数随缺陷层厚度的增加而增加,缺陷模位置随常规介质厚度的增加向波长较小的方向移动.     

关于罪刑法定原则的思考

罪刑法定原则符合＂权力法无明文规定即禁止＂的精神,罪刑法定有利于保障权利,体现民主;罪刑法定的意义还有其它方面。我国罪刑法定原则还有不完善的地方,需要改进,罪刑法定原则不排斥对法律的新的解释。     

关于民事诉讼当事人有关问题的探讨

对当事人问题进行研究,对于民事诉讼立法和民事诉讼实践具有指导意义,它有助于在立法上对当事人作出科学的规范,进而有助于在实践中对案件作出恰当的处理。当今,我国的法律理论界对当事人有关问题的规定存在许多弊端,在实践中涉及诸多方面。对有关当事人的定义、分类以及更换的问题所进行的一些探讨对今后的立法修改有一定参考价值。