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用CH4、NH3和H2为反应气体,利用等离子体增强热丝化学气相沉积系统在沉积有碳膜的Si上制备了碳纳米尖端.用原子力显微镜表征了碳膜,结果表明碳膜是凸凹不平的膜,有许多凸起.在生长碳纳米尖端的过程中,由于既有含碳离子在凸起上的沉积,又有氢离子和含氮离子对凸起的刻蚀,根据有关离子沉积和溅射刻蚀的理论,理论分析了离子轰击碳膜凸起碳纳米尖端的形成. 相似文献
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利用扫描电子显微镜镜研究了热灯丝CVD系统负衬底偏压增强金刚石核化的过程,给出了实验结果。着重分析了负衬底偏压增强金刚石核化的机制。 相似文献
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以金镍复合膜作催化剂,在96%的高氢气浓度下实现了碳纳米管的定向生长,并对其生长过 程进行了深入探讨.结果表明,高氢气浓度下碳纳米管生长的实现与本实验所选用的催化剂 ——金镍复合膜有密切关系.催化剂中金的参与,促进了碳在催化剂中的扩散,提高了碳在 催化剂中的活度.与催化剂中没有金的情况相比较,金的参与有利于镍吸收气氛中的碳,从 而使镍更容易达到碳饱和,有利于在高的氢气浓度下实现碳纳米管的定向生长.
关键词:
金镍复合膜
高氢气浓度
原子氢
碳活度 相似文献
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用CH4,H2和NH3为反应气体,利用等离子体增强热丝化学气相沉积在沉积有碳膜的Si衬底上制备了a-C:N:H纳米尖端,并用扫描电子显微镜和微区Raman光谱仪对碳膜和纳米尖端进行了表征。结果表明:Raman谱中含有与碳和氮相关的峰,且纳米尖端的Raman谱比碳膜的Raman谱有很强的荧光背景。Raman谱中的峰说明沉积的碳膜和纳米尖端是a-C:N:H薄膜和a-C:N:H尖端。a-C:N:H纳米尖端的Raman谱中强荧光背景的产生表明其在激发光源照射的过程中发射了强荧光,对a-C:N:H纳米尖端产生强荧光的机理进行了探讨。 相似文献
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利用大功率CO2激光器在20#钢表面涂敷WC-B4C-SiC-Co,WC-SiC-Co,用X射线衍射仅对涂敷层进行物相分析,并对涂敷层的硬度及耐磨性能进行测试.结果表明,利用大功率激光束可在碳钢表面涂敷高硬度合金,提高了金属材料表面的硬度及耐磨性能[1,2,3]. 相似文献
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用Zn粉和Te粉为源材料,利用水热法在不同条件下制备了ZnTe纳米粉.用X射线衍射仪、透射电子显微镜和显微Raman光谱仪对ZnTe纳米粉进行了表征.X射线衍射谱表明制备的纳米ZnTe具有闪锌矿结构.透射电子显微镜给出在100℃,120℃和160℃时生长2h的ZnTe颗粒的平均大小分别为67 nm,89 nm和120 ... 相似文献
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本对热灯丝CVD沉积金刚石膜的核化过程进行了分析,从理论上研究了负衬底偏压增强活性离子的流量。 相似文献
10.
在N2和高浓度CH4条件下,利用等离子体增强热丝化学气相沉积法在Si衬底上合成了纳米石墨。用场发射扫描电子显微镜、场发射透射电子显微镜和显微Raman光谱仪研究了纳米石墨的结构和成分,结果表明:增大反应气体中N2的浓度可以增加纳米石墨中的缺陷,减小纳米石墨颗粒大小。根据表征结果,分析了N2对纳米石墨结构影响的原因。研究结果能够丰富碳基纳米材料的知识,并为碳基纳米材料的应用奠定了基础。 相似文献