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基于STM式三维nm级轮廓仪的检测原理、检测系统,研究了与其相关的检测技术.该轮廓仪可直接测量较大工件,扫描范围为140μm×140μm,分辨率达nm级.最后对工作台扫描非线性及扫描控制技术进行讨论,并利用多项式拟合法补偿工作台扫描的非线性误差,进而提出了一种平滑反馈扫描技术. 相似文献
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精密切削加工中表面粗糙度的在线检测 总被引:2,自引:0,他引:2
本文研制了一种光纤表面粗糙度在线测量系统,通过涡流测微仪和步进马达控制系统,可以补偿由于工件尺寸变化、机床导轨几何误差和主轴部件的振动造成的光纤探头和被测工件表面之间的距离变化,使光纤测量仪的输出只反映已加工表面粗糙度的变化。该测量系统能识别出金刚石刀具切削铝合金时,影响加工表面粗糙度的主要因素是积屑瘤和振动。同时还可以用在线监测加工表面粗糙度的方法来监测刀具的磨损。 相似文献
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介绍一种用于nm级制造具有xyz三维微定位能力的扫描探针显微镜(SPM).采用电磁足周期性地夹紧与松开,结合压电陶管的轴向伸缩变形的微位移爬行器构成三维微定位机构.扫描范围可达20μm×20μm,且探针可在样品表面x和y方向上10mm×10mm范围内实行nm级的定位.探针在z方向接近样品表面也可自动进行.给出了微定位器的运动分辨率、速度与工作频率,以及在扫描道显微(STM)方法下测得的高定向石墨表面原子图像 相似文献
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提出了一种按需有机气相喷印沉积成膜技术,以惰性气体为载气,携带高温有机蒸汽经由图形化喷嘴喷射,在基板上冷却沉积成形.以AlQ3为有机原料,使用单孔硅喷嘴研究了喷嘴直径、蒸发腔温度、基板温度、载气驱动压力、基板与喷嘴间距、电磁阀开启时间和基板扫描速度等控制参数对喷印图形尺寸的影响,同时进行了单孔喷嘴图形阵列沉积和阵列喷嘴的直接并行沉积实验.实验结果表明:该按需有机气相喷印沉积成膜系统可实现有机材料的精密图形化沉积. 相似文献
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讨论了磁力显微镜中的镍针尖的制备技术;并通过改进以往采用直流电化学腐蚀方法制备针尖的电路,可以在金属丝被腐蚀断裂瞬间获得更短的腐蚀电流切断时间,当腐针电路切断时间减少到200ns时,可重复获得半径优于10nm的镍针尖。 相似文献
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nm级制造用三维微定位的扫描探针显微镜 总被引:2,自引:1,他引:1
介绍一种用nm级制造具有xyz三维微定位能力的扫描描探针显微镜。采用电磁足周期性地夹紧与松开,结合压电陶瓷管的轴向伸缩变形的微位移爬行器构成三维微定位机构。 相似文献
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基于隧道效应的nm级三维轮廓仪的研究 总被引:8,自引:3,他引:5
介绍两种不同结构形式的基于电子隧道效应的nm级三维轮廓仪。其纵向分辨率可达0.02nm,横向分辨率可达0.2nm,扫描范围分别达到40μm×40μm和140μm×140μm。 相似文献
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一种微透镜阵列制作方法 总被引:4,自引:0,他引:4
提出一种采用热压印技术制作微透镜阵列的方法.将聚合物加热到其玻璃转化温度以上,利用预先制备好的模板在适当的压力下压向聚合物样品,保持压力直到聚合物温度降到玻璃转化温度以下,将模板移去后,模板上图形便转移到样品表面.根据热压印工艺要求,研制了一台热压印设备,并利用这台设备制作了单元口径大小为40μm,单元之间间距为60μm的256×256单元8位相台阶衍射微透镜阵列.制作的微透镜阵列SEM图表明图形台阶清晰、各单元一致性好.光学性能测试表明制作的微透镜阵列聚焦的三维光强分布集中,具有较高的峰值.从制作工艺可以看出,利用热压印的方法制作微透镜阵列工艺简单,对制作设备要求不高,为实现低成本、高分辨率、大批量制造微透镜阵列等器件创造了条件. 相似文献
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本文研究用时序分析法通过微机和其它设备,对无心外圆磨削加工绘制-R图,建立自回归模型,提前预报加工质量,达到无心外圆磨削批量加工中质量控制的目的。结果表明本研究经济省时。 相似文献
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从理论上研究了粘附微小针尖后造成石英晶振的品质因素Q值降低的原因,通过实验得出合适的针尖直径、长度等参数,使石英晶振的Q值大大地提高,从而提高仪器检测的灵敏度。 相似文献