利用微电铸制作镍悬臂梁

为了设计出导电的Ni微变截面悬臂梁，采用了基于成熟的电镀技术的微电铸工艺．在分析悬臂梁的变截面结构和搭建微电铸试验平台之后，设计了整个工艺流程，利用近紫外线厚胶光刻、Ni微电铸、去除牺牲层等工艺实现了悬臂梁的制作．工艺实验结果表明，整个变截面悬臂梁的铸层表面没有缺陷，但不同微电铸面积的基座、粗梁、细梁的铸层厚度不均匀，其中，铸层面积最大的基座铸层最厚，面积次之的粗梁的铸层厚度居中，面积最小的细梁的铸层最薄．实验证明在一定范围内增大占空比和降低电流密度可以抑制这种厚度不均匀现象．     

光滑试样表面疲劳裂纹演化的数值仿真

考虑裂纹形核，扩展，合并以及晶界的作用等因素，对光滑圆试样表面疲劳裂纹的演化进行了数值模拟。结果表明，疲劳裂纹系统的演化是由无序向有序转化的过程，演化诱致突变。这一过程与实验观察到的结果一致。疲劳裂纹系统的演化终态具有很大的分散性，主要表现为裂纹路径的随机性和突变寿命的分散性。样本的随机性是造成上述分散性的外因，系统对裂纹位形的敏感性是内因。     

弹性力学的实时神经计算原理与数值仿真

针对现代结构分析的特点，提出了基于神经网络结构的弹性力学分析原理；给出求解该问题的网络———改进的Ｈｏｐｆｉｅｌｄ和ＴＨ网络．提出用ＢＰ网络来实现单元刚度矩阵的实时计算．最后，对两个简单结构的弹性力学神经计算进行了数值仿真     

全对称谐振式压力传感器结构设计与仿真分析

提出了一种基于侧向驱动的全对称谐振式压力传感器结构.谐振结构采用侧向梳齿电容驱动,既保证了驱动力的线性特性,又由于本身的空气阻尼为滑膜阻尼,可以取得较高的品质因子.另外,设计的差分电容结构能进一步提高器件的检测灵敏度.经过ANSYS 10.0的仿真分析总结出谐振结构固有频率受结构参数影响的规律,确定了量程为0～550 kPa的谐振式压力传感器具体尺寸,其灵敏度达到了22.602 Hz/kPa;分析了温度对谐振结构固有频率的影响,得到-20～60℃下的热灵敏度温度系数为-1.8233 Hz/℃,为后续的温度补偿提供依据;最后通过分析谐振结构的频域响应特性,最终确定了传感器的频域特性曲线以及不同阻尼比下传感器的品质因子.为谐振式压力传感器真空封装的真空度选择提供参考.     

扇形梳齿驱动式微机械隧道陀螺仪的初步研究

设计了一种扇形梳齿驱动式隧道陀螺仪,意在取代现有的平板驱动方式,以此来提高陀螺仪的灵敏度.从扇形梳齿驱动的工作原理出发,推导了该型陀螺仪的运动方程,分析了结构参数与其灵敏度的内在联系.在此基础上,对陀螺仪设计中与陀螺仪性能相关的机械耦合、静电驱动频率和敏感方向刚度等问题进行了有益的探讨,揭示了静电驱动频率的选择与敏感方向品质因子和驱动方向品质因子大小之间的内在联系,为陀螺仪的尺寸优化设计奠定了理论基础.     

MEMS系统级仿真建模理论与方法的研究

实现集设计、加工及运行等整个过程的计算机仿真为一体的微机电系统的计算机辅助设计是微机电系统真正走向商品化的重要基础。系统级仿真是MEMS CAD最为关键的重要环节。概括了MEMS CAD的体系结构;着重介绍了适合于MEMS系统级仿真的两个基本模型的基本思想、构造方法。提出用加权残值法（MWR）建立MEMS系统级仿真模型;论述MEMS系统级仿真的MWR建模原理与方法。提出运用演化算法进行自动化、智能化建模的基本思想。     

Electrohydrodynamic direct-writing of conductor–insulator–conductor multi-layer interconnection

A multi-layer interconnection structure is a basic component of electronic devices, and printing of the multi-layer interconnection structure is the key process in printed electronics. In this work, electrohydrodynamic direct-writing （EDW） is utilized to print the conductor-insulator--conductor multi-layer ~nterconne~ction structure. Silver ink is chosen to print the conductor pattern, and a polyvinylpyrrolidone （PVP） solution is util~zed to f~bricate the insulator layer between the bottom and top conductor patterns. The influences of EDW process parameters on the line width of the printed conductor and insulator patterns are studied systematically. The obtained ~es~l~s show that the line width of the printed structure increases with the increase of the flow rate, but decreases with the increase of applied voltage and PVP content in the solution. The average resistivity values of the bottom and top silver conductor tracks are determined to be 1.34 × 10-7 Ω.m and 1.39×10-7 Ω.m, respectively. The printed PVP layer between the two conductor tracks is well insulated, which can meet the insulation requirement of the electronic devices. This study offers an alternative, fast, and cost-effective method of fabricating conductor-insulator-conductor multi-layer interconnections in the electronic industry.     

电纺直写单根纳米纤维喷射电流的特性

为进一步加深对带电溶液喷射规律的理解,提高单根纳米纤维直写技术控制水平,开发了带微弱电流检测模块的电纺直写实验平台,对单根纳米纤维直写过程的喷射电流进行实时检测;并结合正交试验法,分析了静电纺丝溶液聚合物质量分数、喷头至收集板距离和施加电压3个主要可控工艺参数对喷射电流的影响规律.基于近场静电纺丝电纺直写过程,平均喷射电流10~600 nA;喷射电流变化可分为起始喷射、稳定喷射和停止喷射3个阶段;起始喷射阶段喷射电流的峰值是稳定喷射阶段最大喷射电流的2~3倍;喷射电流随施加电压的增加而变大,随静电纺丝溶液聚合物质量分数和喷头至收集板距离的增加而减小;其中施加电压对喷射电流的影响最大,而静电纺丝溶液聚合物质量分数对喷射电流影响最小.     

LPG发动机λ闭环控制系统

为了有效地减少LPG(液化石油气)发动机的尾气排放,设计了空燃比闭环控制原理,分析了PI控制策略的具体实现过程,最后给出了试验结果,结果表明:闭环控制和PI策略的结合可以将空燃比稳定在理论值附近,从而大大降低了3种尾气的排放.     

弹塑性力学变分原理的新形式

以参量变分原理为基础,建立并证明了二类变量变分原理,针对最小势能原理,给出了有限元列式,并把非线性约束项划归到目标函数中,构造出适合于神经网络的处理的变分原理形式,证明非线性约束处理前后的等价性,讨论了非线性项系数的确定方法。