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铝互连线的电迁移问题历来是微电子产业的研究热点,其面临的电迁移可靠性挑战也是芯片制造业最持久和最重要的挑战之一.从20世纪90年代开始,超深亚微米(特征尺寸≤0.18 μm)铝互连技术面临了更加复杂的电迁移可靠性问题.从电迁移理论出发,分析概括了铝互连电迁移问题的研究方法,总结了上世纪至今关于铝互连电迁移问题的主要经验;最后结合已知的结论和目前芯片制造业现状,分析了当前超深亚微米铝互连线电迁移可靠性挑战的原因和表现形式,提出了解决这些问题的总方向.
关键词:
电迁移
铝互连
微结构 相似文献
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钢筋混凝土结构锈裂后的构件截面刚度是表征锈裂损伤程度的重要指标.根据模态频率变化与弯曲刚度变化的关系,提出了锈裂钢筋混凝土结构构件截面抗弯刚度识别的方法,绘制锈裂损伤后抗弯刚度识别图,根据实测模态频率可以识别出锈裂钢筋混凝土构件抗弯刚度.通过弯曲试验实测锈裂构件抗弯刚度,结果与识别结果吻合较好. 相似文献
3.
研究了束缚在梯子形光晶格中的中性原子与高精度腔耦合的系统,发现由超辐射引起的准周期调制可以导致迁移率边和重返局域化现象的出现.在平均场近似下,超辐射现象可以引起两种不同频率的准周期调制,它们可以由腔场和泵浦场有效调节.在本文的观测范围内,当高频调制强度小于某一临界值时,系统随着低频调制强度的增加经历一次局域转变.通过数值求解分形维度、密度分布、平均参与率、平均逆参与率以及标度分析,证明了局域转变历经的临界相区存在迁移率边;当高频调制强度大于临界值时,随着低频调制强度的增强,系统依次经历完全扩展相-临界相-完全局域相-临界相-完全局域相,这是一个典型的重返局域化现象.最后给出了局域化相图.该研究结果为超辐射相变和重返局域化现象的研究建立了联系,也为重返局域化的研究搭建了新的平台. 相似文献
4.
钢筋腐蚀监测传感器设计与工程应用 总被引:2,自引:0,他引:2
基于钢筋腐蚀体积膨胀及光纤光栅测量应变的原理,设计了一种新型钢筋腐蚀监测传感器.通过室内加速腐蚀试验,建立了传感器信号与钢筋腐蚀率的定量关系;采用多目标优化方法,进行钢筋腐蚀传感器的优化布置.将该传感器埋入某码头泊位混凝土结构中并进行了测试,室内试验和工程应用表明,该传感器可用于混凝土中钢筋腐蚀监测. 相似文献
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6.
吴瑾 《科技情报开发与经济》2006,16(7):137-138
简述了会计国际化的含义,讨论了我国为什么要走会计国际化道路的问题,针对我国会计国际化现状,提出了加快我国会计国际化进程的几点建议。 相似文献
7.
吴瑾 《科技情报开发与经济》2012,22(10):37-38
分析了高校图书馆数字资源利用率低的原因,为了更好地促进图书馆服务工作,提出了提高数字资源利用率的几点建议。 相似文献
8.
吴瑾 《科技情报开发与经济》2012,22(9):40-41
当今社会,图书馆员与外国读者的交流日益频繁。简要分析了中外文化差异,提出了提高跨文化交际能力的措施,以进一步提高图书馆的读者服务水平。 相似文献
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详细分析了青藏高原隆升与柴达木盆地西南区岩性油藏形成过程之间的耦合关系,认为青藏高原隆升具有"早弱晚强"的构造活动特征;相对于构造圈闭而言,隆升I阶段更利于岩性圈闭的形成,岩性圈闭发育早而且多期次发育;3期原油充注分别对应于隆升I期的B阶段(E_3~2)、II期的C(N_2~1)阶段和E阶段(N_2~3),配合沸腾包裹体群的发现,说明该区油气成藏的动力主要来自于青藏高原隆升所产生的远程构造应力。高压系统内的烃源岩进行"突发式"排烃,经开启的断裂向常压系统内运移和聚集。青藏高原隆升晚期强烈构造活动是柴西南区岩性油藏形成的主要成因,可以判断在这种"自我封闭"的高原咸化湖盆内岩性油藏的富集主要受控于断裂输导体系。 相似文献
10.
再生骨料混凝土梁抗剪性能试验研究 总被引:3,自引:0,他引:3
通过8根再生混凝土有腹筋梁和4根普通混凝土有腹筋梁的对比试验,研究了再生混凝土梁斜截面的破坏形态、斜向开裂荷载和抗剪承载力.结果表明:再生混凝土抗压强度、梁的剪跨比和配箍率等因素影响再生混凝土梁的抗剪性能,再生混凝土梁的斜向开裂荷载比普通混凝土梁低6%~20%;在配箍率相对较高的情况下,再生混凝土梁的抗剪承载力与普通混凝土梁相差不大;配箍率偏小时,抗剪承载力相差较大,幅度达23%;再生混凝土梁的抗剪承载力随着剪跨比的增大而减小.根据试验结果,拟合出再生混凝土梁斜向开裂荷载以及抗剪承载力计算表达式. 相似文献