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1.
NMOS器件两次沟道注入杂质分布和阈电压计算   总被引:1,自引:1,他引:0  
王纪民  蒋志 《微电子学》1997,27(2):121-124
分别考虑了深浅两次沟道区注入杂质在氧化扩散过程中对表面浓度的贡献。对两次注入杂质的扩散分别提取了扩散系数的氧化增强系数、氧化衰减系数和有效杂地系数,给出了表面浓度与工艺参数之间的模拟关系式,以峰值浓度为强反型条件计算了开启电压,文章还给出了开启电压、氧化条件、不同注入组合之间的关系式。  相似文献   
2.
吴正立  严利人 《微电子学》1996,26(3):189-191
隧道小孔中超薄SiO2的生长是EEPROM电路制造的关键工艺之一。采用SUPREM-Ⅲ工艺模拟程序对超薄SiO2的热生长进行了工艺模拟,经过大量的工艺实验及优化,确定了超薄SiO2的最佳生长条件,生长出的SiO2性能良好,完全可满足EEPROM研制的要求。  相似文献   
3.
借助电子转移催化反应的方法,用电子给予体1,4-二锂四苯基丁二烯将惰性的三溴氟甲烷活化,并与之发生反应,产物1,4-二氟四苯基苯的结构经MS、NMR和X射线单晶衍射确证,并以分子力学的方法对其进行了构象分析。  相似文献   
4.
吴正立  严利人 《微电子学》1996,26(5):339-341
为了提高E^2PROM中N管源漏穿通电压,用实验的方法对制造工艺进行了研究。结果表明,高能量注入是提高VPT的有效手段,但受到pn结击穿的限制,只适用于低区短沟N管;DDD工艺大幅度高VPT,但pn结击穿电压低于20V,不能应用于高压MOS管;采用适量的防穿通注入和适当增大沟道长度为最理想的工艺途径。  相似文献   
5.
微波等离子体炬发射光谱法去溶系统性能的研究   总被引:7,自引:0,他引:7  
用微波等离子体矩(MPT)作激发光源,等离子体的工作气体为氩气,研究了气动雾化进样去溶系统的工作参数对分析性能的影响,探讨了水冷凝与浓硫酸吸收二者协同去溶的相关性,结果表明,OH (Q1带,带头谱线为308.520nm)的发射强度即可判别样品去溶效果。  相似文献   
6.
通过文献调研设计了压电陶瓷配方,使用传统固相法制备目标压电陶瓷以达到大应变要求,以应用于激光陀螺激光稳频器中,通过r(Zr)/r(Ti)系列实验可得r(Zr)/r(Ti)=46/54组成在1 180℃烧结时获得最佳的压电介电性能,即压电常数d33≈640pC/N,弹性刚度系数cE11=60.61GPa,相对介电常数εT33/ε0≈3 300,介电损耗tanδ≈1.85%,机电耦合系数kp=0.655,居里温度TC=272℃。X线衍射(XRD)分析确认相界组成为r(Zr)/r(Ti)=46/54,扫描电镜(SEM)表明烧结温度对陶瓷晶粒尺寸有显著影响,在1 180~1 200℃之间晶粒尺寸显著增大。  相似文献   
7.
β‐Lactam scaffolds are considered to be ideal building blocks for the synthesis of nitrogen‐containing compounds. A new palladium‐catalyzed oxidative carbonylation of N‐allylamines for the synthesis of α‐methylene‐β‐lactams is reported. DFT calculations suggest that the formation of β‐lactams via a four‐membered‐ring transition state is favorable.  相似文献   
8.
A novel water-soluble porphyrin[5,10,15,20-tetra(3-ethoxy-4-hydroxy-5-sulfonate)phenyl porphyrin, H2TEHPPS] was designed and synthesized, which could be used as a potential fluorescence sensor to detect temperature changes. The studies were performed in solution phase and the concentration of H2TEHPPS was 2.0×10^-5 mol/L. The optical properties of H2TEHPPS were investigated based on the UV and fluorescence spectra. The results show that the fluorescence intensity of H2TEHPPS is directly proportional to temperature in the range of 293-353 K So H,TEHPPS can be used as a molecular temoerature sensor in biomedical and other fields.  相似文献   
9.
磷在氧化锆-碳纳米管复合材料上的吸附研究   总被引:2,自引:2,他引:2  
采用水热合成法成功制备了氧化锆-碳纳米管复合材料,并研究了对磷的吸附行为。表征结果表明,碳纳米管经氧化锆修饰后仍具备介孔结构;氧化锆粒子可均匀分散在碳纳米管表面。吸附实验结果表明,氧化锆粒子的粒径越小,氧化锆对磷的标化平衡吸附量越高,吸附速率越快。磷在氧化锆-碳纳米管复合材料上的吸附等温线符合Freundlich等温吸附模式,属于优先吸附,吸附动力学可用拟二级动力学模型描述。降低离子强度和溶液pH可促进磷的吸附,共存离子对磷吸附具有抑制作用,影响顺序依次为F->NO3-≈SO42-,其中F-影响最大,NO3-和SO42-次之。  相似文献   
10.
将萃取与回流相结合, 建立了一种处理航空润滑油中磨损金属的新方法, 并用MPT全谱仪对磨损金属含量进行了同时检测. 该方法基本上实现了样品处理的全自动化,克服了常用方法的部分缺点, 对Zn, Cd, Cu, Fe和Pb的检出限(3σ)分别为0.084, 0.043, 0.022, 0.052和0.064 μg/g; 相对标准偏差均小于5%(n=5); 回收率为94.5%~107.4%. 对3个润滑油样品的检测结果令人满意.  相似文献   
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