半导体混合加工制程的虚拟量测方法

为提高经济效应,半导体加工制程变得越来越复杂,生产线上同时有不同规格的产品在混合加工,能够同时预测这些规格晶圆的最终品质对提高晶圆的生产良率有着重要的意义。本文针对这种混合制程,提出一种虚拟量测算法,在统计回归的基础上,找出影响制程的关键变量,考虑不同规格晶圆的产品效应,利用共变异数分析算法辨识出虚拟量测模型,线上测试结果表明,本文算法不仅可以精确的预测待加工晶圆的线宽,而且可以用于半导体加工制程晶圆的故障侦测。     

应用固相萃取-气相色谱-质谱测定水体中邻、间、对-硝基氯苯

环境水体中硝基氯苯类化合物是我国规定的环境优先控制的污染物之一[1],测定的主要方法为气相色谱法(GC)[2,3],将水中硝基氯苯类化合物经溶剂萃取或用 GDX-502 多孔微球吸附,浓缩,电子捕获检测器测定,该方法的检出限较高(0.04 mg·L-1),不太适用于水中痕量硝基氯苯的测定.     

50KW数字调幅（DAM）发射机功率控制原理分析

我台中波主发射机为50KW数字调幅（DAM）发射机，陕西762厂生产。该机采用先进的数字化调幅技术和功率合成技术，性能指标优良，远高于部颁甲级标准，整机效率可达85％以上。该机为全固态模块化设计，结构简单，便于维护、检修、控制、检测，安全保护措施完善，故障率低。     

离心压气机叶排间涡脱落及气流脉动行为研究

对某一带叶片扩压器跨声速离心压气机内部三维非定常流场进行了数值模拟,依据计算结果描述了叶轮叶片尾缘尾迹涡脱落行为,给出了叶轮尾缘脉动压力频谱特性图和叶轮出口位置脉动速度动能分布图。研究结果表明,主叶片与分流叶片尾缘尾迹涡脱落过程交替进行;转静干涉和转子叶片尾缘的涡脱落行为是造成叶轮尾缘气流脉动行为的主要原因,随着时间的...     

网络虚拟化环境中底层资源的动态选择研究 —— 一种基于演化博弈的方法

从虚拟网络的角度考虑虚拟网络对底层资源的选择问题,将虚拟网络对底层网络中物理路径的自主选择抽象成一个演化博弈,虚拟网络通过反复博弈学习来调整物理路径的选择。利用模仿者动态方程分析博弈中不同策略的比例动态变化,证明了模仿者动态是底层资源动态选择博弈的合理策略更新机制。应用势博弈理论分析了博弈的演化过程,证明了演化的结果会达到演化平衡,确保了每个虚拟网络都获得了最优策略选择。最后基于模仿者动态策略选择机制提出了一个演化算法,通过数值仿真模拟了不同初始策略分布下虚拟网络对底层网络路径的选择过程,实验结果表明演化博弈收敛到了稳定点,仿真结果与理论分析的结果相吻合。     

最小化路径代价和流量均衡模型及算法

流量均衡是流量工程中为避免网络拥塞经常采用的路由优化目标,如何选择路径以使流量达到均衡分布是流量路由的研究热点和难点.为了最小化网络拥塞,该文在指出网络拥塞决定于流量路由时所选路径的拥塞特征后,建立了流量分布的最小化路径代价和模型.在流量路由选择路径时,提出基于瓶颈链路的最小代价路径路由算法.在实际的网络拓扑和流量矩阵数据基础上对所提模型及算法进行了实验验证,结果显示:在网络负载较大时最大链路利用率相对于已有模型可降低近20%.     

异构无线网络中基于Stackelberg博弈的分布式定价和资源分配算法

针对异构无线网络资源管理问题,结合多主多从Stackelberg博弈模型,提出了一种同时满足网络运营商和用户效用最大的异构无线网络定价和资源分配方案。首先设计了一种基于收益和花费的移动用户效用函数,并证明在运营商的价格确定后,效用函数满足凹函数的条件,保证了移动用户间非合作博弈的纳什均衡点存在。为了获取移动用户的最优带宽策略和运营商的最优价格策略,提出了一种分布式迭代算法。最后通过仿真实验取得了参与者的最优策略和子博弈完美纳什均衡。     

Development of a virtual metrology for high-mix TFT-LCD manufacturing processes

Nowadays,TFT-LCD manufacturing has become a very complex process,in which many different products being manufactured with many different tools.The ability to predict the quality of product in such a high-mix system is critical to developing and maintaining a high yield.In this paper,a statistical method is proposed for building a virtual metrology model from a number of products using a high-mix manufacturing process.Stepwise regression is used to select key variables that really affect the quality of th...     

CoMa-mSCTP：移动环境中基于mSCTP的连接管理机制

提出一种基于mSCTP协议的传输层连接管理机制CoMa-mSCTP，实现带宽聚合与移动性支持的结合。定义了其中的关键路径管理功能模块，介绍了路径切换过程，并提出一种基于广义路径定义的传输路径子集选择策略。对CoMa-mSCTP的带宽聚合效果、传输路径子集选择策略效果和移动性支持能力分别进行了仿真实验。仿真结果表明，CoMa-mSCTP能够实现带宽聚合与移动性的有效结合，基于应用特性的传输路径子集选择策略具有明显的性能优势。     

异构无线网络中基于马尔可夫决策过程的区分业务接纳控制的研究

对异构无线网络中区分业务类型的接纳控制机制进行研究.分析了语音和数据2种典型业务在CDMA蜂窝网络和WLAN中的容量区域.基于马尔可夫决策过程理论,提出异构无线网络中区分业务类型的接纳控制理论模型,规定了不同类型业务的接纳控制行为并推导了系统状态转移概率.而且,进一步从用户角度对不同类型业务QoS要求和网络状态之间关系进行分析,提出一种基于模糊逻辑的接纳效用评估机制,在保证各类业务接入和切换成功率的基础上,推导出接纳效用最大的最优接纳控制策略.仿真表明,基于模糊逻辑的接纳效用评估能够有效反映网络状态动态变化对接纳控制的影响,最优接纳控制策略在平均接纳效用方面明显优于不考虑业务区分和用户移动性2种接纳控制机制,并且能严格保证各类业务的接入和切换成功率.