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本文报道用光声谱法在近红外波段研究硅单晶中~(31)P~+离子注入效应,得到了注入剂量为10~(12)cm~(-2)-10~(15)cm~(-2)范围内的光声信号幅值随注入剂量变化的关系.对于先经退火后进行离子注入的样品,其剂量低到 5×10~(11)cm~(-2)的离子注入效应也能被检测到.在1×10~(12)-5 × 10~(13)cm~(-2)低剂量范围内,光声信号明显地随注入剂量而增加.因此,光声谱法是研究离子注入造成的晶格损伤的有效手段,有希望发展成为硅中离子注入剂量的无接触、快速、非破坏性的测量方法. 相似文献
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本文报道用光声谱法在近红外波段研究硅单晶中~(31)P~ 离子注入效应,得到了注入剂量为10~(12)cm~(-2)-10~(15)cm~(-2)范围内的光声信号幅值随注入剂量变化的关系.对于先经退火后进行离子注入的样品,其剂量低到 5×10~(11)cm~(-2)的离子注入效应也能被检测到.在1×10~(12)-5 × 10~(13)cm~(-2)低剂量范围内,光声信号明显地随注入剂量而增加.因此,光声谱法是研究离子注入造成的晶格损伤的有效手段,有希望发展成为硅中离子注入剂量的无接触、快速、非破坏性的测量方法. 相似文献
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今年7月,我处接到市国税局的投诉,称其设在灌云县四队和杨集两镇税务所之间的扩频通信系统(2400-2438.5MHZ)通信中断,用户认为可能是江苏田湾核电站近期建设高压传输线及其支架的影响。处理扩频通信系统的干扰投诉对我管理处来讲还是第一次,因此对用户提出的干扰原因我们心中也没把握,于是我们立即组织工程技术人员开着监测车,带上TEK频谱仪和HE200测向天线到现场进行测试。该扩频系统正常的情况是,四队的信号传递到杨集,由杨集再传递到县局。杨集有两部发射机,一部与县城通信,一部与四队通信,即杨集既完成与四队的通信同时还起到四队与… 相似文献
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