离子注入硅Nd-YAG连续激光退火

本文报导用扫描Nd-YAG连续激光对<100>硅中注铋的损伤层进行的退火研究。测量表明:退火能使离子注入造成的晶格损伤很好恢复,90％以上的铋原子处于替代位置,杂质浓度的分布保持不变。文中对退火参数的选择、均匀性,以及表面温度升高、外延再生长层厚度等问题进行了讨论。文末还将实验结果与熔化型脉冲激光退火进行了比较。     

YAG声光调Q激光微调电阻

本文介绍用 YAG 声光调 Q 激光对薄、厚膜电路进行微调的工作原理、光学系统及应用实例,列举了激光调阻的优点。     

用YAG声光调Q激光进行电阻调整

激光调阻是利用激光的能量在薄膜、厚膜电阻上刻槽,以达到所需要的电阻值。激光调阻机由YAG调Q激光器、光学系统、数控装置、测量装置、光束定位系统、探针及工作台、电源组成。 我们在JGT-79型YAG激光调阻机上进行了一些试验,发现调阻的精度除了与电阻材料的配方、外形尺寸、阻值调整量、材料的导热率及刻槽的位置、方式这些因素有关外,还与调阻时所选择的激光功率和调阻速度有关。功率过高使刻槽附近产生裂纹,影响了精度和阻值稳定性;功率太小,在一定的     

铌酸锂-ZF_6玻璃Q开关的实验应用

由于 ZF_6玻璃 Q 开关价廉、易加工、驱动功率小等特点,我们选用 ZF_6开关对连续 YAG器件调 Q。众所周知,ZF_6玻璃作为声光介质其品质因素 M 较大(M=4×10~(-18)cm·s/g),铌酸锂的机电耦合系数比石英晶体大25倍,因而在小功率(高频驱动功率)下就能获得较高的一级衍射效率。我们采用的声光开关对氦氖激光(6943(?))的衍射效率都在90%以上。     

用YAG声光调Q激光进行电阻调整

本文综述了用YAG声光调Q激光对薄、厚膜电路进行微调的原理、器件和光学系统。叙述了激光调阻的优点、工艺及影响激光调阻精度的几个参数。给出了激光调阻的二个实例。     

激光在半导体电子学中的应用

激光在半导体电子工业生产中已得到日益广泛的应用,这是激光微加工最集中、最重要的应用领域.所谓激光微加工,系指激光与被加工材料互作用区大小在亚毫米至亚微米并且互作用激光能量在毫焦耳范围内的加工.激光微加工的许多技术如激光微调、激光划片、激光标记、激光焊接等等已用于生产线,取得了明显的经济效果.有不少技术还正在深入研究,具有重要的应用前景,如激光再结晶、激光化学气相沉积、激光诱导化学光刻与掺杂等等.特别是半导体集成电路已跨入超大规模集成电路(VLSI)的八十年代,微米乃至亚微米级的微细加工技术已成为电路制造的核心…