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为了减小激光切割硅晶圆时的热效应,选择去离子水作为辅助液体进行激光切割实验,研究了水下切割时激光烧蚀激发气泡对硅片表面造成的不良影响。为解决水下激光切割进程中诱导气泡大面积粘结在硅片表面的问题,提出了去离子水混入乙醇溶液的实验方案,分析了水下激光切割中激光参数和乙醇浓度对切割质量的影响。实验结果表明,采用乙醇溶液作为辅助介质能明显减少粘结气泡的数量,减轻气泡破溃冲击带来的负面影响。实验采用乙醇浓度5 wt.%时切割得到的硅片比纯水中切割得到的硅表面影响区减小50%以上、切缝宽减幅约20%,有效提升了激光切割质量。 相似文献
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基于欧姆龙CJ系列可编程逻辑控制器(PLC)的控制平台,设计并实现了一种高温共烧陶瓷(HTCC)带料通用自动上下料系统.从机械、电气和程序3个角度分别阐述了设备的设计思路和工作原理.利用模块化机械结构实现了带料的定位取放;并对机构设计中的定位精度问题进行分析和计算,得到了预期的设计结论.电气部分通过Ethernet协议实现SMC LEFB25电动缸与PLC之间的通信,并利用欧姆龙NB系列触摸屏(HMI)实现人机交互.利用欧姆龙专用编程软件CX-Programmer实现了PLC的模块化程序设计.所设计的自动上下料系统能够为多种HTCC带料加工设备完成上下料操作,并已经在生产线上投入使用,批量产品一致性得到显著提升. 相似文献
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