基于线阵CCD 的高速光刻检焦技术

随着光学投影光刻分辨力的提高,投影物镜的焦深在逐渐缩短。为充分利用物镜有限的焦深,一般采用调焦技术来调整硅片位置。作为调焦的关键,检焦技术的研究尤为热门。现有的检焦方法多采用四象限探测器或者面阵CCD采集携带有硅片离焦量信息的光强信号,并在计算机上进行图像处理完成检焦。该方法处理速度慢,难以满足实时调焦的要求。鉴于此,提出了一种用线阵CCD采集图像,以FPGA为处理器的检焦方法。该方法利用线阵CCD的高速性和FPGA的并行性,结合多项式插值的亚像素边缘检测算法,能够高速实时检测硅片离焦量;同时, FPGA通过驱动电机控制工件台运动对离焦量进行补偿,形成一个实时闭环的调焦系统,减少了原有的计算机环节,具有高速度、高分辨率、低功耗、低成本的特点。     

连续相位调制系统盲速率接收技术

无线通信系统中速率自适应技术可适应无线信道条件变化,提高有效传输速率,是提升信道容量和无线传输灵活性的重要手段。针对传统通信系统速率自适应技术协议开销大、时延大、资源消耗大、速率切换不平滑的问题,提出了分段相位匹配接收的方式实现连续相位系统盲速率自适应接收,发送端可单方改变发送速率,同时在接收端实现速率盲检测。理论和仿真结果表明,连续相位调制系统盲速率接收技术具有时延低、资源消耗小且速率切换平滑的优势,特别适用于战术通信/数据链系统,工程实用性较强。     

自适应烟丝宽度测量方法及其应用研究

香烟烟叶的切丝宽度对卷烟的物理指标和感官质量具有重要影响。针对烟丝形状狭长、姿态各异、宽度不一的特点,提出了一种自适应烟丝宽度测量方法。该方法采用大像元数量的线阵电荷耦合器件(CCD)扫描获取烟丝高清晰数字图像。经过图像二值化处理、图像分割、去杂质、图像细化、去毛刺、边缘提取以及矩阵翻转等一系列步骤测量烟丝宽度。通过对实际烟丝进行测量,发现利用该方法计算烟丝宽度对烟丝复杂形态具有良好的自适应能力。通过对电子束直写光刻机制作的标准样板的测量值与实际值的对比分析,验证了该方法具有很高的测量精度。