一种机载超声波液位传感器的设计

该文设计了一种用于机载废水储箱的超声波定点液位监测传感器。该传感器采用全封闭式结构,有效排除了环境对监测过程的不良影响;同时提出双重判定算法,提升了监测的准确度和可靠性。对该传感器的有效性进行了验证,理论与实践分析表明,该传感器可以较准确、稳定地实现定点液位监测报警功能。     

声表面波器件晶圆键合工艺研究

声表面波器件向小型化、集成化、更高性能方向发展,需要制作复合单晶薄膜和采用晶圆级封装。该文针对关键工艺中的晶圆键合工艺开展研究,提出工艺要求,简述有关键合工艺要求和设备特点,并进行了金属键合工艺验证。实验证明,设备和工艺能满足产品封装要求。