UV-LIGA深度光刻机平滑衍射技术研究

UV-LIGA深度光刻技术是加工微型机电系统的一项重要的微细加工技术。介绍了一种平滑衍射效应的位错强度叠加原理，它采用了蝇眼积分透镜去平滑衍射，并模拟数值计算了硅片表面的光强分布，最后给出了光刻结果。     

硒化合物对不饱和脂肪酸过氧自由基的作用

本文用电子自旋共振谱技术研究了硒代二乙酸和硒代二丙酸对不饱和脂肪酸过氧自由基的作用。结果表明,硒化合物清除不饱和度为2和2以上的脂肪酸的过氧自由基,但促进仅含一个双键的不饱和脂肪酸的过氧自由基的生成。     

冻融循环作用对电化学除氯混凝土的损伤程度影响

通过对钢筋混凝土试件进行电化学除氯及冻融循环试验,研究了除氯时间、粉煤灰掺量、减水剂、引气剂等因素对冻融后损伤变化规律的影响。研究表明:随冻融循环次数增加,各试件呈现出较明显的冻融损伤厚度增大趋势;经200次冻融循环,电化学除氯28d的混凝土试件劣化最严重,200次后经除氯14d、28d的混凝土试件损伤层发展迅速;粉煤灰的加入降低了混凝土的抗冻性能,减水剂、引气剂则提高了试件的抗冻性能。     

单幅圆条纹相位展开光刻对准研究

针对光刻对准中产生的单幅封闭干涉条纹经相位解析后获得的包裹相位,提出在极坐标系对其进行相位展开进而获得对准偏移量的方法.该方法首先将对准过程中两圆光栅相对移动产生条纹的相位分布从直角坐标系转换到极坐标系;其次分析在极坐标系下对准偏移量与相位参量的关系;最后通过取不同径向半径获得初始相位振幅与相位延迟进而求取对准偏移量.数值模拟与实验验证该方法的可行性并与传统的最小二乘与路径跟踪相位展开方法进行了对比分析.结果表明该方法对包裹相位进行展开进而达到几十纳米量级的高准确度对准,具有很强的适应性.     

基于CAN总线的运动控制通讯系统设计

数字量驱动的运动控制要求通讯系统具有良好的实时性和可靠性。设计了一种基于CAN总线的多节点多通道的运动控制通讯系统,以FPGA为节点控制器,通过SJA1000收发运动控制数据,并行发送到各通道驱动器的数模转换器中。FPGA模块由Verilog HDL编写,通过参数传递和生成块的方法简化代码,提高系统的可移植性,移植时只需改变两个常量值即可适应各个节点不同的通道数和位宽。实验表明,通讯系统每帧耗时约120us,最高帧频可达8.5kHz,误码率低于10^-8,实时性和可靠性较好。     

调整教学方式 催生精彩课堂——以“一元一次方程的应用”为例

<正>精彩的数学课堂是在师生互动中激发的思想火花,是在合作交流中生成的灵动智慧,也是在学生活动中的深度学习.精彩的课堂是学生在课堂上的积极思考和主动配合,但是作为学习引导者的教师起着更加关键性的作用,恰当的教学方式可以更好地激发学生的学习热情和主动参与,     

处理污泥焦颗粒内部孔结构在燃烧过程中变化

在管式炉反应器中进行了1种污泥定温燃烧试验,进行了5个不同燃烬率样品的液氮静态容量法等温物理吸附试验.发现不同燃烬率的污泥样品孔分布特性相似,其孔系统可能主要是由一端封闭的不透气的孔构成;随着燃烬率的增加,比表面积、平均孔径和孔体积等参数变化不同;样品颗粒内孔表面分形维数随燃烬率的增长呈先降低再升高的趋势.     

混合胺溶液耦合CaO吸收-矿化CO2特性及矿化过程关键影响因素研究

有机胺捕集CO₂是一种有效的燃烧后碳捕集(PCC)技术,同时CO₂矿物碳酸化是一种安全和稳定封存CO₂的方法。本研究通过将两种方式结合,以MEA/MDEA混合胺溶液作为CO₂吸收剂,以CaO作为CO₂矿化原料,研究了不同混合胺溶液配比、温度、反应时间和CaO添加比例等条件下混合胺溶液耦合CaO吸收-矿化CO₂性能。结果表明,在常温常压下CaO可对MEA/MDEA溶液中吸收的CO₂进行有效矿化并同时实现MEA/MDEA溶液的再生;并且经过五次循环吸收-矿化实验后,MEA/MDEA溶液仍保持了较高的CO₂转化率(77.4%)和CO₂循环负荷(1.03 mol/L)。FT-IR和XRD表征分析表明,CaO的添加向MEA/MDEA溶液中提供了大量Ca²⁺和OH^-,可分别与溶液中的CO₃^2-/HCO₃     

电纺丝合成树枝状Ag-TiO2复合材料及光催化降解有机物

通过高压电纺丝方法合成TiO2纳米纤维, 以此为模板构建树枝状Ag-TiO2复合材料. 采用 X 射线衍射与扫描电镜对该材料进行结构与形貌表征. 与商品化的TiO2(P25)及TiO2纳米纤维相比, 该复合材料在亚甲基蓝的光催化降解过程中表现出更优异的催化性能.     

高频地波雷达下的多目标跟踪数据处理

根据高频地波雷达监测海上低速移动目标的要求及该类雷达的特点,提出了一种与高频地波雷达目标跟踪相适应的多目标跟踪数据处理方案。在该方案中对BTC(bayes tracking confirm)方法与BTT(bayes tracking termination)方法进行了改进,解决了上述两种方法在高频地波雷达实际应用中存在的问题。提出了贝叶斯准则与次数判定相结合的跟踪起始和终结方法。模拟结果表明,该方案能够稳定、有效地实现高频地波雷达密集回波下的多目标跟踪。