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1972年以后,国外发明了改性环氧树脂,解决了半导体器件表面钝化技术,使塑封器件得到飞跃发展.80年起,我国塑封器件也得到较快发展,但在塑封器件的可靠性(主要指抗湿性和耐热性)方面与国外的差距较大,主要原因是改性环氧树脂质量和器件表面钝化技术未过关,当前解决后者的办法之一是在管芯上涂适量的内涂胶,以提高器件的抗湿性和防止器件的开路.要不要涂内涂胶和涂哪一种内涂 相似文献
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翁寿松 《电子工业专用设备》1994,23(2):35-38,57
本文论述了当前半导体制造设备的几个新概念,包括分类、投资、价格、市场、竞争和管理中的新概念。 相似文献
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本文讨论了军用半导体器件的贮存失效率模型、贮存失效率曲线、贮存数据和“延寿试验”.再次阐明超过贮存期的器件只要进行必要的“延寿试验”,试验合格的产品仍可交付使用。 相似文献
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翁寿松 《电子工业专用设备》1992,(1)
本文论述了开发200mm圆片、0.5μm线宽半导体设备的必要性,并介绍4种适用200mm圆片、0.5μm线宽的半导体设备。 相似文献
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翁寿松 《电子工业专用设备》2007,36(3):11-13
介绍了系统级芯片(SoC)、可制造性设计(DFM)和电子设计自动化(EDA)的最新发展动态。SoC正在从单核向双核、四核和多核过渡。SoC设计必须采用DFM和EDA。采用DFM和EDA的优点:(1)提高芯片的生产效率和良率;(2)降低芯片生产成本;(3)缩短芯片生产周期,加速上市。 相似文献
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193 nm ArF浸没式光刻技术PK EUV光刻技术 总被引:1,自引:1,他引:0
翁寿松 《电子工业专用设备》2007,36(4):17-18
2006年11月英特尔决定采用193nm ArF浸没式光刻技术研发32nm工艺。2007年2月IBM决定在22nm节点上抛弃EUV光刻技术,采用193nm ArF浸没式光刻技术。对于32nm/22nm工艺,193nm ArF浸没式光刻技术优于EUV光刻技术,并将成为主流光刻技术。 相似文献
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