排序方式: 共有7条查询结果,搜索用时 5 毫秒
1
1.
2.
3.
4.
5.
6.
7.
水平液相外延设备是目前生产碲镉汞薄膜材料的主要设备,其温度控制的精度、温度场的均匀性等是设备的关键性能指标.为了满足液相外延设备对温度控制的要求,设计了多段独立控制的加热系统,并采用串级控温方式对炉体中反应管內温度进行精准控制;通过在不同加热阶段对串级参数进行动态调整,提升反应管內温度的动态跟随性能;开发了设备控制软件... 相似文献
1