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1.
在Ge和SiGe复合缓冲层上生长高质量Ge/Si超晶格   总被引:3,自引:0,他引:3  
利用Ge的三维生长特性和迅速弛豫,在Si衬底上形成有一定高度的岛状Ge层,继续生长不到200nmSiGe合金就可获得较高质量的缓冲层.这种很薄的缓冲层已用于生长Ge/Si短周期超晶格.超晶格的优良性能表明Ge岛技术是生长配晶体的有效方法.薄的外延厚度和低的工艺温度与集成电路工艺是完全相容的.  相似文献   
2.
结区中存在量子阱结构样品的C-V特性分析   总被引:2,自引:2,他引:0  
对不同组分、阱宽和垒宽的锗硅单量子阱和多量子阶样品的C-V特性及其与温度的关系进行了测量,并用数值方法解油松方程模拟计算了单量子阱样品的C-V特性及其C-V载流于浓度分布.实验和模拟计算的结果均表明,C-V载流子浓度分布在量子阱位置有一个浓度较高的峰值,它反映了被限制在阱中的载流子的积累,峰高随着量子阶异质界面的能带偏移的增加而增加.低温时由于阱中载流子的热发射几率变小,阱中载流于浓度的变化跟不上测试电压的频率,造成电容值显著变小.  相似文献   
3.
用深能级瞬态谱(DLTS)研究了量子阱样品价中载流子的热发射和异质界面附近的深能级缺陷,得到Si0.67Ge0.33/Si单量子样品的能带偏移为0.24eV.量子阱异质界面附近高浓度的深能级缺陷在样品的DLTS谱上形成一少于峰,该信号只有当测量的脉冲宽度足够大时才能检测到.对比不;司组分相同结构的多量子阱样品发现,组分大时异质界面的深能级缺陷浓度大,因此它可能是失配应变或位错引起的.相应的光致发光谱(PL)测试结果表明该深能级缺陷还会导致PL谱中合金层的带边激子峰的湮灭.  相似文献   
4.
硅分子束外延中硼δ掺杂生长研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
利用硅分子束外延技术和B2O3掺杂源,成功地实现了硅中的硼δ掺杂,硼δ掺杂面密度NB可达3.4e14cm-2(1/2单层)以上,透射电镜所示宽度为1.5nm.我们首次用原位俄歇电子能谱(AES)对硼在Si(100)表面上的δ掺杂行为进行了初步的研究,发现在NB<3.4e14cm-2时,硼δ掺杂面密度与时间成正比,衬底温度650℃,掺杂源温度9000℃时,粘附速率为4.4e13cm-2/min;在NB>3.4e14cm-2时,粘附有饱和趋势,测量表明在硼δ掺杂面密度NB高达4.4e14c  相似文献   
5.
对不同组分、阱宽和垒宽的锗硅单量子和多量子阱样品的C-V特性及其与温度的关系进行了测量,并用数值方法解泊松方程模拟计算了单量子阱样品的C-V特性及其C-V载流子浓度分布,实验和模拟计算的结果均表明,C-V载流子浓度分布在量了阱位置有一个深度 高的峰值,它反映了被限制在阱中的载流子的积累,峰高随着量子阱异质界面的能带偏移的增加而增另,低温由于阱中载流子的热发射几率变小,阱中载流子深度的变化跟不上测试  相似文献   
6.
掺杂非醚聚苯基喹噁啉薄膜电致发光的研究邓振波,黄京根,董树忠,王建宝,张博,陆访,孙恒慧(复旦大学物理系,复旦大学材料系,上海200433)聚合物薄膜电致发光(PTFEL)器件的主要特点是制造方便、设备简单、成本低廉并且可以通过改变材料体系、掺杂或调...  相似文献   
7.
许强  王建宝  袁健  陆昉  孙恒慧 《物理学报》1995,44(3):432-438
利用X射线双晶衍射,测量了经过800—1100℃快速退火处理的重掺硼的分子束外延硅中的应变情况,发现应变部分弛豫.并得出外延层与衬底硅的晶格失配与替位硼浓度(7.5×10~(29)—3.1×10~(20)cm~(-3)成正比,比例系数β为5.1.在此测量基础上,提出硼团簇的形成与分解是外延展晶格质量与电学性质变化的主要原因.  相似文献   
8.
9.
光生电压谱方法对ZnSe/GaAs异质结导带偏移的研究谌达宇王建宝靳彩霞陆日方孙恒慧(复旦大学应用表面物理国家重点实验室,李政道综合物理实验室)对宽禁带ⅡⅥ族半导体异质结、量子阱和超晶格材料的研究是人们感兴趣的课题。由于ZnSe/GaAs异质结导带...  相似文献   
10.
对Ge_xSi_(1-x)/Si超晶格的喇曼光谱研究表明,这类样品中各层间的应力分配取决于缓冲层组分。合金层中的Ge—Si峰峰移δω随组分x或应变ε作线性变化。对Ge_n/Si_n(n为原子层数)超晶格的喇曼光谱研究表明,在n=4的超薄层超晶格中,锗硅界面互混程度较小,并发现样品的生长温度对其质量有决定性影响。  相似文献   
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