薄膜生长及界面结构的计算机模拟

本文对薄膜沉积的形核、生长过程,对同质外延、异质外延生长过程中的某些现象进行了研究。特别是对界面势、界面畸变、界面缺陷以及气相、液相外延生长膜的最后形状等进行了计算机模拟研究,利用已有的实验结果与本工作进行了对比和验证。