高压大电流晶闸管受主双质掺杂新技术的研究

针对现行Ｐ型杂质扩散工艺的不足，开展了受主双质掺杂新技术的研究．经对比实验和工艺论证，首先研究成功开管铝镓一步扩散法．应用证明，该项技术用于制造高压大电流晶闸管是可行的，产品电参数一致性和综合性能好，合格率高，为电力半导体器件研究和生产开创了一条先进的工艺途径．     

湿氢法开管镓扩散

本文提出了湿氢法开管镓扩散工艺,采用此工艺在硅片中进行扩散,其工艺重复性、均匀性、一致性良好.用该工艺制造的高反压晶体管,电气特性参数均优于现行的涂层硼铝扩散工艺的结果.