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由于砷化镓及其它化合物半导体具有很重要的作用,目前对它们的工艺研究越来越多。本文主要介绍了一种比较成熟的GaAs单晶片抛光工艺。 相似文献
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由于砷化镓(GaAs)及其它化合物半导体具有很重要的作用,目前对它们的工艺研究越来越多。本文主要介绍了一种比较成熟的GaAs单晶片抛光工艺。 相似文献
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半导体晶体的定向切割郭辉林本付(淄博金晶电子材料厂)1晶体定向切割分析1.1定向分析目前世界上所用的晶体材料如Si、Ge等单质晶体或GaAs、GaP、InP等化合物半导体晶体都是闪锌矿结构,一般都是沿〈111〉、〈100〉或〈110〉取向生长而成。其... 相似文献
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