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为开发大尺寸场发射显示器需要的能承受高温热处理的薄膜电极,以Al作为Ag层的保护层和与玻璃衬底的粘附层,采用直流磁控溅射制备了Al/Ag/Al复合薄膜及其电极.采用XRD、AFM、光学显微镜和电性能测试系统,研究不同温度热处理对复合薄膜和电极结构、表面形貌和电性能的影响.由于表面致密的Al2O3膜的保护,使得加热退火(<600℃)不会对Al/Ag/Al薄膜和电极造成明显的氧化,然而Al层与Ag层发生的界面扩散和固相反应增大了电极的电阻率(从5.0×10~(-8) Ω·m 上升至23.6×10~(-8) Ω·m).另外热处理温度足够高时(500℃、600℃),Ag原子向表面的扩散一定程度上降低了电极的化学稳定性.尽管如此,与Cr/Cu/Cr薄膜电极相比Al/Ag/Al薄膜电极仍然是一种能够承受高温热处理并且保持较低电阻率的新型电极. 相似文献
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元胞遗传算法的多样性研究 总被引:1,自引:0,他引:1
探讨了元胞遗传算法中种群多样性对全局寻优/局部收敛平衡的意义,提出了基于邻域结构内元胞遗传算法的多样性度量方式,并提出了改变遗传算子的元胞遗传算法来维持进化过程种群的多样性,算法将元胞空间网格嵌入到种群空间中,模拟遗传操作在相邻个体之间进行。该算法不仅提高了全局搜索能力,且在维持种群多样性方面有一定优势。 相似文献
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