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报道了采用热壁外延(HWE)技术,在(100),(111)和(211)三种典型Si表面通过两步生长和直接生长法制备GaAs单晶薄膜,经过拉曼光谱、霍尔测试和荧光光谱分析比较,得出结论:(1)相同取向Si衬底,两步生长法制备的GaAs薄膜结晶质量比直接生长法制备的GaAs薄膜的要好;(2)采用HWE技术在Si上异质外延GaAs薄膜,其表面缓冲层的生长是降低位错、提高外延质量的基础;(3)不同取向Si衬底对GaAs外延层结晶质量有影响, (211)面外延的GaAs薄膜质量最好,(100)面次之,(111)面最差. 相似文献
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东华大学电子信息类教学计划的研究和制定 总被引:2,自引:0,他引:2
教学计划是高等学校培养专门人才的总体规划,是高等学校安排教学内容、组织教学过程的基本依据,同时也是教学改革的总体反映。因此,各高校都把制定高质量的人才培养计划作为一项重要工作。本文介绍了东华大学电子信息类教学计划,并在教学计划制定过程中,注重拓宽专业基础课程,优化课程体系,加强实践能力的培养。 相似文献
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