全固态医用窄线宽皮秒激光器研究

输出窄线宽、超短脉冲的全固态激光器在医疗美容、加工业领域的发展潜力巨大。本文开展了被动调Q微片激光器的研究。采用LD泵浦Nd:Ce:YAG、Cr:YAG微片键合晶体的方案。激光器输出脉冲的重复频率为10 Hz,脉冲宽度被压缩至503 ps,最大脉冲能量为197μJ,能量的均方值稳定性为3%,输出激光峰值波长为1 064.53 nm,光谱线宽为0.06 nm。光束质量M2因子在x和y方向上分别为1.32和1.29。     

基于ANSYS的高温超导混合磁轴承悬浮力分析

基于商用电磁场有限元软件ANSYS以及Bean临界态模型,对由圆柱形高温超导块材、永磁体和超导线圈组成的新型高温超导混合磁轴承的电磁场分布及悬浮力进行了仿真分析,研究了超导线圈对高温超导混合磁轴承悬浮力的影响,同时还通过实验测试了悬浮力。结果表明:仿真与实验具有较好的一致性,使用软件仿真方便可行,其结果较为准确可靠,可为高温超导混合磁轴承的设计和优化提供理论依据。     

以非晶硅为硬掩膜的TaN金属栅的选择性湿法腐蚀

提出了一种在HfSiON介质上,采用非晶硅为硬掩膜的选择性去除TaN的湿法腐蚀工艺。由于SC1(NH4OH:H2O2:H2O)对金属栅具有合适的腐蚀速率且对硬掩膜和高K材料的选择比很高,所以选择它作为TaN的腐蚀溶液。与光刻胶掩膜和TEOS硬掩膜相比,因非晶硅硬掩膜不受SC1溶液的影响且很容易用NH4OH溶液去除（NH4OH溶液对TaN和HfSiON薄膜无损伤）,所以对于在HfSiON介质上实现TaN的选择性去除来说非晶硅硬掩膜是更好的选择。另外,在TaN金属栅湿法腐蚀和硬掩膜去除后, 高K介质的表面是光滑的,这可防止器件性能退化。因此,采用非晶硅为硬掩膜的TaN湿法腐蚀工艺可以应用于双金属栅集成,实现先淀积的TaN金属栅的选择性去除。     

Dry etching of poly-Si/TaN/HfSiON gate stack for advanced complementary metal-oxide-semiconductor devices

A novel dry etching process of a poly-Si/TaN/HfSiON gate stack for advanced complementary metal-oxide-semiconductor（CMOS） devices is investigated.Our strategy to process a poly-Si/TaN/HfSiON gate stack is that each layer of gate stack is selectively etched with a vertical profile.First,a three-step plasma etching process is developed to get a vertical poly-Si profile and a reliable etch-stop on a TaN metal gate.Then different BCl₃-based plasmas are applied to etch the TaN metal gate and find that BCl₃/Cl₂/O₂/Ar plasma is a suitable choice to get a vertical TaN profile.Moreover,considering that Cl₂ almost has no selectivity to Si substrate, BCl₃/Ar plasma is applied to etch HfSiON dielectric to improve the selectivity to Si substrate after the TaN metal gate is vertically etched off by the optimized BCl₃/Cl₂/O₂/Ar plasma.Finally,we have succeeded in etching a poly-Si/TaN/HfSiON stack with a vertical profile and almost no Si loss utilizing these new etching technologies.     

基于SBS超短脉冲激光器的介质研究

皮秒激光器在众多领域中都有广泛的应用,将纳秒量级激光器脉冲压缩至皮秒量级超短脉冲是目前获得高能量皮秒脉冲激光的常见方法之一。而基于布里渊散射(Stimulated Brillouin Scattering)的脉冲压缩系统结构简单,造价较低,是近年来较为热门的技术手段。布里渊散射脉冲压缩方案的技术关键在于介质研究。本文通过研究目前获得应用的三类介质的化学性能、物理特性以及压缩效果等,对比国内外研究现状,分析了受激布里渊散射对介质的要求以及未来的发展方向。     

Fabrication of hydrophobic structures on coronary stent surface based on direct three-beam laser interference lithography

To solve the problems with coronary stent implantation, coronary artery stent surface was directly modified by three-beam laser interference lithography through imitating the water-repellent surface of lotus leaf, and uniform micro-nano structures with the controllable period were fabricated. The morphological properties and contact angle (CA) of the microstructure were measured by scanning electron microscope (SEM) and CA system. The water repellency of stent was also evaluated by the contact and then separation between the water drop and the stent. The results show that the close-packed concave structure with the period of about 12 μm can be fabricated on the stent surface with special parameters (incident angle of 3°, laser energy density of 2.2 J?cm-2 and exposure time of 80 s) by using the three-beam laser at 1 064 nm, and the structure has good water repellency with CA of 120°.     

微波消解-ICP-MS测定电镀污泥中的重金属

采用微波消解系统对某电镀污泥进行消解,利用ICP-MS对污泥中的重金属进行测定。称取制备后样品,置于消解罐中充分反应后,赶酸、定容后利用电感耦合等离子体质谱法进行测定。电镀污泥中的铬为18845.2mg/kg、镉为10.3mg/kg、镍为5200.0mg/kg、铅为189.7mg/kg、铜为3271.7mg/kg、锌为49632.6mg/kg。测定结果表明所检测项目工作曲线线性关系好,相关系数r均大于0.999。铬加标回收率在91.6～97.7%之间、镉加标回收率在92.0～97.0%之间、镍加标回收率在95.1～98.0%之间、铅加标回收率在94.3～95.2%之间、铜加标回收率在97.1～102%之间、锌加标回收率在96.3～98.7%之间,均满足相关测定要求。计算的潜在生态危害系数、潜在生态危害指数结果表明,电镀污泥中的铬、镉、铅、铜、锌为轻微生态危害,镍为强生态危害;潜在生态危害指数RI计算值为216.69,属于中等生态危害。     

APD探测器模块性能及噪声检测

为了实现可见光通信系统的探测器模块微小型化,设计并制作了一款50 cm3的温控APD探测器模块,并对模块的稳定性、温控效果和噪声特性进行了检测。结果表明,APD探测器模块的光电流测量平均相对偏差为0.795%;APD探测器的雪崩增益和响应度随着温度的降低而提高;APD探测器电阻的变化影响负载电阻分压,使得过剩噪声因子的测量值远大于真实值,且会随着入射光功率的增大而增大。可以得出结论:提高反向偏置电压与降低温控温度相配合,更有利于弱光信号检测;检测电路中的负载电阻影响APD探测器噪声特性。     

2μm大能量掺铥脉冲光纤激光器研究进展

2μm波段掺铥脉冲光纤激光器目前可实现最高毫焦量级的能量输出,对医疗、材料、通信等领域有重要意义。本文主要介绍近年来大能量掺铥光纤激光器系统研究的主要进展,讨论大能量掺铥光纤激光器的技术类型和影响因素。在此基础上,对大能量掺铥光纤激光器的研究前景进行展望。     

基于社交网络的舆情安全形势分析

社交网络在为广大网民提供自由交流的同时,也成为网络舆情的主要发源地。文中从网络舆情的产生和传播特点出发,对目前中国网络信息安全形式进行了深入分析,介绍了网络突发事件、热点事件在舆情产生中的作用,指出了正确引导舆情的策略方法。分析认为,网络舆情关系到国家安全和社会稳定,提高网络国防意识,保卫网络边疆,对网络舆情进行有效监控和正确引导刻不容缓。