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介绍如何实现光学和电子束曝光系统之间的匹配和混合光刻的技术,包括:(1)光学曝光系统与电子束曝光系统的匹配技术;(2)投影光刻和JBX-5000LS混合曝光技术;(3)接触式光刻机和JBX-5000LS混合曝光技术;(4)大小束流混合曝光技术或大小光阑混合曝光技术;(5)电子束与光学曝光系统混合光刻对准标记制作技术. 该技术已成功地应用于纳米器件和集成电路的研制工作,实现了20nm线条曝光,研制成功了27nm CMOS器件;进行了50nm单电子器件的演试;并广泛地用于100nm化合物器件和其他微/纳米结构的制造. 相似文献
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<正>环己胺(具有鱼腥气味的无色液体,可以与水或有机溶剂混溶)是一种应用广泛的化工原料,可用于杀菌剂、脱硫剂、阻蚀剂、尼龙6、环己酮等化工产品的制备,其也是一种应用广泛的食品添加剂——甜蜜素的原料。环己胺对眼睛、皮肤及呼吸道存在刺激作用,高含量的环己胺可导致身体灼伤,具有致敏性,环己胺中毒时会出现剧烈呕吐等症状。GBZ 相似文献
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针对目前电梯故障多发问题,采用STM32单片机和LabVIEW软件,构建了电梯安全监控系统,保障电梯安全运行。系统采用STM32单片机作为控制单元,LabVIEW设计的监控平台作为主监控单元。采用TCP/IP协议以及Modbus串口协议实现设备间的数据通信,控制层中的控制器将设备层中的各类传感器采集到的电梯运行时产生的参数进行上传、分析并存储。系统经测试,结果显示:上位机的监控平台能够与STM32单片机能进行数据交换,同时也能够实现对电梯运行状态的监控。 相似文献
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