Y波导器件环境应力筛选方法及失效分析

从环境应力筛选的概念出发,介绍了环境应力筛选的目的、 方法和筛选效果的评估.以某研制的器件为例,通过对器件故障模式及失效机理等进行分析,证实了环境应力筛选试验是保证电子产品可靠性实现的重要环节.     

光电材料的俄歇电子谱分析

俄歇电子能谱(AES)是测定固体表面元素组分的分析技术。由于AES具有很高的空间分辨率和表面灵敏度,并可以通过离子束溅射刻蚀获得组分深度剖面分布,所以它在各种材料,特别是微电子材料、光电子材料和纳米薄膜材料的分析中应用广泛。文章详细地介绍了PHI595型多探针俄歇电子能谱仪及其在光电子材料分析中的应用。     

长期存贮CCD的可靠性试验分析

采用外部检查和气密性检测等试验方法,对长期存贮的电荷耦合器件(CCD)的质量进行评价.对失效原因进行了分析,进而提出了在CCD的封装、贮存和运输过程中,提高CCD可靠性的具体方法,可保证其贮存寿命在10年以上.     

镜面无损检测系统

介绍了基于“魔镜”技术原理研制的镜面无损检测系统,该检测系统已应用于Ｓｉ片和其他半导体抛光晶片的质量检测,且其用途已延已延伸到与超平镜面有关的各种技术领域,如硬盘光盘、玻璃衬底等。