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折射型微透镜列阵的光刻热熔法研究 总被引:8,自引:1,他引:7
研究了制作折射型微透镜列阵的一种新方法光刻胶热熔成形法,获得了20×20的折射型微透镜列阵,单元微透镜相对口径为F/2,单元透镜直径为90μm,中心间隔100μm,透镜的波像差小于1.3波长。本文详细阐述了光刻热熔法的基本原理及微透镜设计方法,并讨论了工艺参数对微透镜列阵质量的影响。 相似文献
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针对空间三维粒度场分布,提出了采用准共焦光学检测法,即利用共焦光斑对样品池内进行逐点扫描,由此获取各点的散射光信息。对采集到的大量数据,结合分段自相关法加以处理。实验结果表明,这种方法具有较高精度,较快数据处理速率,是一种有较广应用前景的三维粒度在线检测法。 相似文献
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