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研究了Si^+和Si^+/As^+注入到Horizontal Bridgman(HB)和Liquid Encapsulated Czochralski(LEC)方法制备的半绝缘GaAs衬底电激活效率与均匀性。结果发现:在相同条件下(注入与退火),不同生长方法的半绝缘GaAs衬底电激活不同,通常电激活HB〉LEC,HB SI--GaAs(Cr)(100)A面〉(100)B面,Si^+/As^+双离子 相似文献
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一、忽视条件的相互制约导致错解例lx、夕、二任R+、x+夕+二=1。求3成‘蕊5。 .’.4成9a一‘(15。.,.4落八3)攫15。令十十+令的最小值·分析:不难找到函数广(x)=130(义2一34)错解:,.’二、,、:任R:.’.:+生》2使f(1)==一1 .1。f(2)=一1而f(3)= 5一万.,+达一)2 y 1~.刃-t-—台多乙.相加有(x+升+约+(令十令+令)》6·十十专+誉李5.由x十升十:=1。得故令+令十令的最小值是5这一反例(厂(劝三一1也行)驳斥了上面的解法.此解“病”在当同时取得f(1)、厂(幻制约条件的右端值一1和5时未必是a取得最大和c取得最小(左端也如此).即给定的条件与方程组(… 相似文献
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为提高实验教学质量,分析当前实验教学存在的问题,创建先进的“HEART”实验教学理念。以此教学理念为指导,开展了化学实验教学体系、教学方法、教学团队、教学质量评价研究。建立了“二渗透、四结合”的实验教学体系,培养了学生的创新精神和实践能力;形成了以学生为中心的快乐实验教学方法,激发了学生实验的积极性和创造性;建立了实验教学质量评价体系,完善激励机制,敦促教师不断提高实验教学能力;建立了柔性的实验教学改革运行机制,形成了教学改革长效机制。 相似文献
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本文采用清华大学QSW-3075快速热处理设备对Si^+,As^+双离子注入半绝缘GaAs进行了快速热退火研究。结果表明,在适当条件下退火,注入杂质有高的激活效率,并且杂几乎没有因高温退火引起的扩散再分布,保留了原有的注入分布。在加热位置降温可消除注入晶片滑移的产生。 相似文献
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