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用同步辐射光源进行大规模集成电路和微器件光刻是现阶段的一项高新技术。本文介绍同步辐射光刻的镜扫描控制系统。它的设计思想,所采用的方法以及最优控制等都具有科技应用和经济价值。 相似文献
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本文给出了格型自适应滤波器在AAC中的应用,提出了一种AAC解码器中预测模块的FPGA实现方案,该方案根据时序图进行VHDL语言的描述,并采用流水线结构和运算单元分时复用,可以有效地提高运算速度,满足实时性的要求。 相似文献
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研究了HUFFMAN解码器在集成电路上的实现问题,以MPEG-2AAC(先进音频编码)HUFFMA为研究对象.在研究解码码表的特点以及简化解码算法的基础上设计出高速HUFFMAN解码电路。此解码电路已经在ALTERA的FPGA上通过测试。系统能稳定运行在100MHz,输出数据平均达到约1.0Gbits/sec的带宽。 相似文献
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在进行大规模集成电路光刻时 ,采用同步辐射光源是一项新技术。本文介绍了同步辐射光刻镜扫描控制系统。通过提高光刻镜扫描的控制精度和优选扫描振动频率 ,能够改善光栅的均匀度 ,以满足曝光的需要 相似文献
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