多层梁机电耦合系统的等效电路宏模型

实现MEMS器件系统级模拟的关键是建立其宏模型.由单层梁构成的机电耦合系统的等效电路宏模型, 已做过深入的研究,但实际的MEMS器件通常都是多层的.本文提出了一种基于力-电压(F-V)类比的、适用于由多层梁构成的机电耦合系统的等效电路宏模型,该模型可进行小信号时域和频域分析, 能为多层梁机电耦合系统的设计带来很大的方便.模拟结果表明,该模型具有较高的精度.     

机载激光扫描不则距接收机中信号处理研究

本文分析了普通脉冲激光测距接收机的原理，并指出了它运用在机载激光扫描测距时存在的问题。针对激光束扫描时倾角变化带来的回波脉冲幅度和宽度的变化，提出运用滤波器带宽自动控制技术来改善输出信噪比，运用自动修正恒比定时触发技术提高测距精度。实验结果证实，改善效果是明显的。     

用激光辐照技术控制硅片的少数载流子寿命

激光辐照技术是近年来广泛用于半导体工艺中的一种行之有效的技术,已在离子注入的退火、形成硅化物和欧姆接触等方面取得了令人满意的效果。本文叙述用连续式CO_2激光器,在不同的时间内,对MO S结构进行辐照,根据c—v和c—t技术测量照射前后硅片的少数载流子寿命和氧化层中的固定电荷,实验结果表明:照射后硅片的少数载流子寿命明显降低,固定电荷增加。最后对少数载流子寿命降低的原因作了较为详细的讨论。     

硅直接键合工艺对晶片平整度的要求

本文用弹性力学近似，给出了键合工艺对硅片表面平整度的定量要求以及沾污粒子与孔洞大小洞的关系，并用Ｘ射线双晶衍射技术和红外透射图象对键合硅片进行了实验研究。     

静电驱动悬臂梁数模转换器设计、分析与模拟

提出了一种新型的微电子机械数模转换器 (MEMDAC)———静电驱动悬臂梁数模转换器 .与传统的静电驱动悬臂梁执行器相比 ,新的结构能更精确地控制梁的挠度 .文中给出了此MEMDAC的设计、分析和模拟过程 .有限元(FEA)分析表明此MEMDAC的最大输出位移为 1 5 1μm ,分辨率为 0 1μm ,其最大非线性误差为 0 0 3μm .     

真空微电子三极管几何参数的设计考虑

真空微电子三极管是近年来兴起与发展的真空微电子学中的一类重要器件。本文从真空微三极管的工作特性出发,分析了这类器件中所需考虑的几何参数和工作特性的关系,并给出了一些理论和实验公式,为今后的设计提供一些参考。     

福建莆田海岸沙丘岩——Ⅰ.沉积构造与古风

福建莆田后石井海岸沙丘岩由三个沙脊组成。本文记述了这些沙脊的形状与沉积构造,并在讨论其成因的基础上重建了古沙丘类型与古风向。本文认为,它们是中全新世末盛行的东北季风吹扬海滩沉积物再堆积所形成的有植被沙丘与风影沙丘,古今风向未发生明显的变化。     

福建莆田海岸沙丘岩——Ⅱ.沉积与成岩作用

本文在文献[1]的基础上,记述了后石井这套石英-生物砂屑灰岩的物质成分、沉积结构和成岩作用特征,并与当地的现代海滩砂、海岸沙丘砂作了对比,进一步讨论了它们的成因与物质来源问题。作者认为,它们是大气降水胶结海岸沙丘砂所形成的海岸沙丘岩,是中全新世末东北季风吹扬附近海滩砂再堆积的结果。     

顶空气相色谱法测定瑞替加滨原料药中残留溶剂

建立了测定瑞替加滨原料药中残留溶剂乙醇、正己烷、四氢呋喃、三乙胺的顶空气相色谱方法。采用氢火焰离子化检测器,以N,N-二甲基甲酰胺为样品溶剂,通过对色谱条件优化,建立了以DB-624为分析柱、110℃为平衡温度、15 min为平衡时间的残留溶剂测定方法。经方法学验证,上述4种溶剂的方法检出限依次为0.007 5%、0.000 48%、0.002 4%、0.01%;峰面积的相对标准偏差均小于2.1%;平均回收率为100%～102%;4种溶剂的线性系数均大于0.995。结果表明,该方法的检测灵敏度高、精密度好、准确度高、线性关系良好,能够满足对瑞替加滨质量的控制要求。将该方法应用于3批瑞替加滨原料药的残留溶剂检测,均只检出乙醇和正己烷,且乙醇和正己烷的最高残留量分别为0.149%和0.022%,均未超出限量规定。