直接无标样x光能谱定量分析

本文将文献〔1〕的二元化合物成分的x光能谱无标样定量分析推广,使之应用于含有少于9个元素(原子序数11-83)的样品的无标样定量分析。并用BASIC语言编成EDAX9100谱仪能使用的分析程序。与EDAX9100上的Russ间接无标样分析程序比较,分析精度有所改善。     

用X射线能谱仪测定衬底材料上的薄膜厚度

本文利用薄膜对入射电子束流的衰减作用和薄膜对衬底的x射线的吸收,提出了一种直接利用衬底的x射线的强度比来测量薄膜厚度的方法。并在各种实验条件下,对Cu薄膜的厚度进行了测量,得到了较为满意的结果。