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基于SDB/SOI材料和硅微机械加工技术,提出了一种含微参比电极和择优差分补偿单元的背面引线PH-ISFET/压力传感器的新结构。并且设计了高稳定的可调芯片自恒温系统,以减少硅材料对温度敏感的效应。这种结构既方便地实现敏感元和信号处理电路的完全隔离,又有效地改善了敏感特性和稳定性。初步实验结果证实了新结构设计是成功的。 相似文献
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设计与制备了带Ti/Au膜参考电极的长臂式pH-ISFET集成传感器与微流通池。在静态和流动分析系统测量中表明:由蠕动泵驱动的待测液流动极畅,且试样量极少,响应速度快。 相似文献
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基于统计物理学和两层有附模型提出氧经物-电解溶液界面的表面基吸附模型,推导出完全由微观物理,化学参量描述的OAE界面电荷密度与电势的关系表达式,结果与实验数据的拟合在零电荷点附近令人满意,并对理论结果进行了讨论。 相似文献
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设计与制备了带Ti/Au膜参考电极的长臂式PH-ISFET集成传感器与微流通池。在静态和流动分析系统测量中表明:由蠕动泵驱动的待测流动极畅,且试样量极少,响应速度快。 相似文献
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pH—ISFET器件及其电路的SPICE模拟方法 总被引:1,自引:0,他引:1
本文提出了用SPICE软件模拟pH-ISFET器件及其电路的方法。通过SPICE内部的MOSFET参数和引入一些信号源来实现对pH-ISFET传感器及其电路的pH灵敏度关系,瞬态响应以及温度特性的模拟,所得结果与实验观测结果基本相符。 相似文献
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基于SDB/SOI材料和硅微机械加工技术,提出了一种含微参比电极和择优差分补偿单元的背面引线PH-ISFET/压力传感器的新结构。并且设计了高稳定的可调芯片自恒温系统,以减少硅材料对温度敏感的效应。这种结构既方便地实现敏感元和信号处理电路的完全隔离,又有效地改善了敏感特性和稳定性。初步实验结果证实了新结构设计是成功的。 相似文献
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提出了一种全新的亚微米级温度传感器的构想。作者在借鉴AFM悬臂测头的基础上,采用了微机械加工技术中的各向同性和各向异性腐蚀技术,在硅材料上完成了悬臂梁与硅尖制作。制成的梁的厚度在6μm左右、尖端曲径半径远小于1μm。随后对悬臂梁前端的硅尖进行尖端放电,隧穿其顶端的Si_3N_4层形成温敏器件──一个微型的热电偶。最后进行了这一温敏传感器的引线和封装。由于制作所形成的硅尖曲径半径在0.1μm左右,从而可以在其尖顶上形成亚微米级的温度传感器,在集成电路的探伤与修补以及生物技术领域,有着广阔的应用前景。 相似文献