光电效应光位置检测器的性能分析

介绍了几种同步辐射光源常用的光电效应光位置检测器 ,对其主要性能 (如灵敏度、零位偏差和线性范围 )进行了理论分析和比较 ,给出了计算机模拟结果 ,分析了加工误差对检测器性能的影响 ,为光位置检测器的设计提供了理论依据 ,并提出了一种改良型的光电效应光位置检测器。