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在等离子体增强化学气相淀积系统中,采用aSi:H层淀积和原位等离子体氧化相结合的逐层生长技术制备了aSi:H/SiO_2多层膜.在激光诱导限制结晶原理基础上,使用KrF准分子脉冲激光为辐照源,对aSi:H/SiO_2多层膜进行辐照,使纳米级厚度的aSi:H子层晶化.Raman散射谱和电子衍射谱的结果表明,经过激光辐照后纳米Si颗粒在原始的aSi:H子层内形成,晶粒尺寸可以根据aSi:H层的厚度精确控制.还研究了样品的光致发光(PL)特性以及激光辐照能量密度对PL性质的影响.
关键词:
脉冲激光
多层膜
限制结晶 相似文献
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本文考虑一带有人工粘性的二维定常等熵无旋平面流方程组的初-边值问题. 在一定的假设下,我们证明其驻波解是渐近稳定的. 相似文献
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一维链状冠醚配合物:[{Na(18-C-6)}2(H2O)]n[M(SCN)4]n(M=Pd、Pt)的合成与结构 总被引:1,自引:0,他引:1
The reactions of 18-crown-6 with Na2[M(SCN)4] (M= Pd,Pt) were studied and the complex 1 [{Na(18-C-6)}2(H2O)]n[Pd(SCN)4]n and complex 2 [{Na(18-C-6)}2(H2O)]n[Pt(SCN)4]n were characterized by ele-mental analysis, IR and X-ray diffraction analysis. The complexes belong to monoclinic, space group P21/n with cell dimensions, 1:a=1.05734(7),b=1.42250(10),c=1.47762(10) nm,β=107.5330(10)°,V=2.1192(2)nm3,Z=2,Dcalcd=1.460g·cm-3,F(000)=964,R1=0.0406,wR2=0.1264 and 2:a=1.05985(19),b=1.4237(3),c=1.4744(3) nm,β=107. 096(3)°, V=2.1264(7)nm3,Z=2,Dcalcd=1.690g·cm-3,F(000)=1028,R1=0.0292,wR2=0.0859. In the solid state, the complexes 1 and 2 show an one-dimensional chain of [{Na(18-C-6)}2(H2O)]2+ complex cations and [M(SCN)4]2- (M=Pd,Pt) complex anions bridged by Na-N in-teractions. 相似文献
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